ガスはクリーニングカートリッジを通してメンブランポンプで循環され、分校器内部の汚染を防ぎます。カートリッジは2年毎に交換するだけで使用できるため、ガスをパージするシステムに比べてランニングコストを大幅に削減することができます。5.循環冷却水システムが不要OPI-AIRは、その名の通り、プラズマのインターフェースを空冷するシステムであり、従来の装置内の熱を排除するシステムをさらに効率良く利用することで冷却水システムの除去に成功しました。これによって面倒な水交換や故障につながる恐れのある結露、そして余分な電気料金も不要としました。