ML-20XYLPDFをダウンロード1・2・3軸透過窓付きピエゾステージXY軸に20μmのストロークを出力。6mmの薄型、可動部には15mmの透過窓口。動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。ML-90XYL1・2・3軸透過窓付きピエゾステージPDFをダウンロードXY軸に20μmのストロークを出力。6mmの薄型、可動部には15mmの透過窓口。動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。