チルト機構を必要とする用途に向いています。6物質非含有チルト機構付ステージ積層ピエゾを駆動源として2軸チルトアングル35mradを発生。高い周波数特性により高速なステップ変位と静定性。ひずみゲージ変位センサによる変位直線性の補正。一体弾性ヒンジによる精密動作。ミラーなし、ミラー付きを選択可能。6物質非含有チルト機構付ステージPDFをダウンロード積層ピエゾを駆動源として2軸チルトアングル35mradを発生。高い周波数特性により高速なステップ変位と静定性。ひずみゲージ変位センサによる変位直線性の補正。一体弾性ヒンジによる精密動作。ミラーなし、ミラー付きを選択可能。6物質非含有チルト機構付ステージ高速応答性を高めた回転軸ピエゾステージ。一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が高いです。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。6物質非含有チルト機構付ステージPDFをダウンロード高速応答性を高めた回転軸ピエゾステージ。一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が高いです。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。6物質非含有チルト機構付ステージピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度3mradを発生。θx・θyの2軸駆動。6物質非含有チルト機構付ステージPDFをダウンロードピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度3mradを発生。θx・θyの2軸駆動。6物質非含有チルト機構付ステージピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度6mradを発生。θy・θzの2軸駆動。光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで極めて高精度な位置決めが可能。6物質非含有チルト機構付ステージPDFをダウンロードピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度6mradを発生。θy・θzの2軸駆動。光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで極めて高精度な位置決めが可能。