读头单元62A及62C,如图5所示分别具备多个(此处为九个)Y读头65丨〜659以及64:〜649。32的一Y侧位置的多个Y读头(此处为两个)65:,652以及648,649。以下,亦适当地将Y读头65i〜659以及61〜649分别记述为Y读头65,64。(晶片台WTB)在Y轴方向的位置(Y位置)的多眼(此处为九眼)的Y线性编码器(以下适当简称为“Y编码器”或“编码器”)70A(參照图7)。(晶片台WTB)的Y位置的多眼(此处为九眼)的Y编码器70C(參照图7)。38的长度)的一半略窄。Y标尺39Yi,39Y2。Y侧、于上述基准轴LV上相隔间隔WD配置的多个(此处为七个)X读头668〜6614。LV上相隔既定间隔WD配置的多个(此处为七个W-1ee1Nee715以下,亦将X读头66i〜6614适当记述为X读头66。(晶片台WTB)的X位置的多眼(此处为七眼)的X编码器70D(參照图7)。37的长度)的一半略窄。X标尺39Xi,39X2。X读头间切換(接续)。Y侧的X读头667与对应的X标尺39X2对向。X读头66仅有各ー个与X标尺39Xi,39X2对向。