Y轴方向、将与Z轴及Y轴正交的方向设为X轴方向,且将绕X轴、Y轴、及Z轴的旋转(傾斜)方向分别设为0x、0y、及0z方向。此外,图1中于晶片载台WST上装载有晶片W。(均未图示)的照明光学系统。此处,作为一例,是使用ArF准分子激光光(波长193nm)来作为照明光IL。投影単元W,配置于标线片载台RST的图1下方。(例如1/4倍、1/5倍、或1/8倍等)。(感光剂)的晶片W上的前述照明区域IAR共轭。