本实施形态中,作为上述液体,是使用可使ArF准分子激光光(波长193nm的光)透射的纯水(以下除必要情况外,仅记述为“水”)。1/n=约134nm。(參照图7),以及驱动载台WST、MST的载台驱动系统124(參照图7)等。118、编码器系统150及面位置測量系统180等。此外,干渉仪系统118及编码器系统150等,留待后述。124(參照图7)而独立驱动于XY平面内。91上的晶片台WTB。(X,Y,Z,0x、0y、0z)。W的晶片保持具(未图示)。ロ且具有矩形状外形(轮廓)。