「新しい波」を興しながら現在も進化をつづけ、未来の新たなライフスタイルを創出することが期待されています。本ブログでは、MEMS産業化を支援する一般財団法人マイクロマシンセンターやMEMS協議会の活動状況を「MEMSの波」として紹介していきます。2019年10大ニュース)新年あけましておめでとうございます。EU離脱、中東情勢等の不確実性が残ってはいますが、国内では令和の代を迎え、東京2020オリンピックによる経済効果が期待されています。システム」等の開発が積極的に行われています。マイクロマシンセンターは、これら新技術に不可欠なスマートセンサを支えるマイクロマシン・MEMSなどのナノマイクロ分野に係る基盤技術の確立を図るべく産官学の力を結集し、国やNEDO主導の技術研究開発プロジェクトを推進しています。(NEDO)から2019年の10大ニュースの1番目に記載の2つのテーマを受託し、研究開発に邁進しております。10大ニュースの2番目に記載のように、防衛装備庁から原子時計関連のプロジェクトを採択頂けました。これらの研究開発を支えるMEMS試作ファンドリとしまして、2011年に開設しましたつくばの「マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)」を運営し、これまで企業・ベンチャー、国研・大学も含む100近い機関からの研究や工程の受託を行ってきており、現時点でもフル稼働の状況にあります。本年度は引き続き革新センシング技術の研究開発を進めるととともに、その基盤となるMEMS技術を社会が求めるSociety5.0のキー技術ととらえ、新たな技術開発やそれらの広報・普及に努めて参ります。MEMS技術の広報・普及活動の一環として、主催していますMEMSセンシング&ネットワークシステム展2020(https://www.optojapan.jp/mems/ja/)が1月29日から31日まで、東京ビッグサイト西ホールにてナノテック2020と同時開催されますので、多数のご来場をお待ちしています。当センターとしましては、本年もMEMS・スマートセンシング技術の開発や普及に真摯に取り組み、我が国のコネクテッド・インダストリーズの推進に微力ながらも貢献してまいりますので、引き続きご指導、ご鞭撻の程、よろしくお願い申し上げます。皆様方には以下の2019年の10大ニュースをご覧いただき、このような私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。デバイス及び行動変容促進システムの研究開発(BaMBI)」とNMEMS技術研究機構等が提案した「薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発(SNIF)」の2テーマが入り、それぞれ、6月及び7月から本格的な研究開発をスタートしました。応募していました「量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究(HS-ULPAC)」が2019年12月24日に採択決定されました。プロジェクトが各々目標を達成し、2019年2月、3月に終了しました。道路インフラ状態モニタリング用センサシステムの研究開発(RIMS)本技術開発プロジェクトは、NMEMSが実施主体となり、NEDOから業務委託を受け研究開発を5年間実施したものです。高速道路の橋梁,道路付帯物,法面を対象にして,環境エネルギーを利用した自立電源を有し,モニタリングに適した新規の小型,安価,高性能,高耐久性の無線センサ端末を開発すると共に、センシングシステムを統合した道路インフラのトータルな維持管理が可能な道路インフラモニタリングシステムを開発し、実際の高速道路での実証を進め成果を上げました。これらモニタリング技術の長大橋や発電所等の大規模インフラへの展開も検討しました。本プロジェクトは、2019年3月、目標を達成し終了しました。研究開発(ULPAC)本研究は、センサ端末間の衛星利用や有線による時刻同期を不要とすることで誰もが容易に無線センサネットワークを構築できることを目指して、2015年度よりRIMSの中の先導研究という位置づけで始まりました。使われている小型原子時計と同等以上の時刻精度を二桁小さな消費電力で実現し、屋外での連続稼働実験などで、その性能を実証しています。本プロジェクトは2019年3月に終了しましたが、センサ端末に搭載するには、さらなる精度や安定度等が必要なため、その実現を目指して新しいプロジェクトとして挑戦していきます。ライフラインコアモニタリングシステムの研究開発(UCoMS)本プロジェクトでは、振動発電によるセンシング方式と低消費電力(10年間電池交換不要な)マルチホップ無線通信により、従来のシステムに比べ導入コストを格段に低く抑え、かつ監視ポイントの増減などの現場状況の変化への柔軟な対応を可能とする振動のモニタリングシステム及び異常振動固有の周波数情報だけを収集するP型(ペットボトルキヤップサイズ)端末の開発を行いました。ついて実証を進め、2019年3月プロジェクトは成果を上げ終了しました。開発したシステム、端末につきましては、担当した企業により実用化・製品化の検討が進められています。スマートセンシング・インタフェースの国際標準化(SSI)2016年度から3年間、経済産業省からの受託事業として国際標準化を進めてきましたが、目標としていた、端末モジュールからスマートセンサを制御する方式に関する規格案1件と、スマートセンサと自立電源モジュールの特性表示方法に関する規格案1件の開発を完了し、IEC(国際電気標準会議)に提案しました。MMC自主事業として、IECでの規格成立に向け、引き続き審議フォローアップを推進しています。よるスマート社会の実現」/空間の移動分野(先導研究)」へと移行して実施した2年間の研究開発です。革新センサとしての要素技術や可視赤外光による次世代認識アルゴリズムなど、先導研究としてのすべての目標を達成し、2019年2月に研究開発を完了しました。研究開発を支えるMEMS試作ファンドリとして、2011年に開設したつくばの「マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)」も今や中小・ベンチャーを含む90社以上から、1100件を超えるご利用があり、フル稼働の状況にあります。設備整備や技術向上に努めて、我が国のMEMS開発需要に応えていきます。出席する等、活発に国際標準化事業を推進しており、11月に国際標準「スマートセンサの制御方式」が発行するなどの成果を上げています。受賞する等、着実に成果を上げています。2019年度は、実証実験段階に移行し、実用化・事業化を目指した実証実験を行っています。7.SSN(スマートセンシング&ネットワーク)研究会のワーキンググループが範囲を拡大し、国プロ等採択の成果に繋がる2015年にMEMS協議会傘下に発足したSNS研究会では、これまでもいくつかのワーキンググループ(GP)で研究開発プロジェクトの提案をまとめ、国プロ等の採択につなげてきました。2019年には、前述1.で採択されたBaMBIがWG8の成果として、また同じくSNIFがWG7の成果としてスタートしました。前述2.のHS-ULPACは、以前ULPACをスタートさせたWG3を再開して検討を継続してきたことの成果として採択されたものです。開中であるなど、この先もSSN-WG活動をさらに活発化していきます。「MEMS講習会」を開催しております。2019年は、MEMS講習会2回(2月、9月)、先端技術交流会2回(2月、9月)を開催し、多くの方々のご参加を頂き、活発な意見交換が行われました。代表団が集まり、マイクロマシン/ナノテクノロジー技術に関する課題や展望につき意見交換する場あり、当センターのイニシアチブで1995年から開催されています。9日(木)に開催され、世界22の地域から64名のデリゲートの登録がありました。chip”で、会議を通して各国のマイクロマシン/ナノテクノロジー技術を俯瞰することができました。(国際マイクロマシンサミットでの収集資料の一部はMMC賛助会員専用ページから閲覧可となっています。)その他にも、国内外のイベントの機会などに、当センターのアフィリエート団体や研究者などとの交流を積極的に行っています。(西2ホール及び会議棟)での開催となります。昨年、一昨年と「CEATEC」との同時開催としてきましたが、今年度は「nanotech」との同時開催とし、マイクロマシン/ナノテクノロジー技術を一堂にご覧いただける展示会としています。「MEMSセンシング&ネットワークシステム展」同時開催セミナーも充実した内容を準備しています。皆様のご来場をお待ちしております。2019年度MEMS懇話会開催(2019年12月26日)一般財団法人マイクロマシンセンター・MEMS協議会はMEMSを中心とした我国の産業競争力の強化を目的に、「MEMS懇話会」として、MEMS協議会正メンバーの委員と経済産業省など行政側との情報交換や意見交換を毎年年末に実施しています。2019年度MEMS懇話会は、会場を霞が関ビル35階の東海大学校友会館に移し、12月26日にマイクロマシン・MEMS分野に係る今後の課題について意見交換を行いました(写真1)。)による主催者挨拶があり、MEMS協議会の「スマートセンシング&ネットワーク研究会(SSN研究会)」から提案した、超微小量センシング技術開発に関する2テーマがNEDOのプロジェクトに採択され、順調に研究を進めていることなどが紹介されました。「イノベーションマネジメント」と題し、日本企業のイノベーション力の現状と価値創造マネジメントに関する行動指針についての紹介がありました(写真2)。日本のMEMSセンサ市場規模として、1,400億円であることなどが紹介され、経済産業省、NEDO,産総研との意見交換が始まりました。Goals:SDGs)の達成に向けた、自社のMEMSに対する取組みと、行政・国研への要望について」であり、SDGsに向けた製品・サービス実現のために、MEMS技術はキーデバイスや差別化機能に大きく関わっていることなどが発表され、それを受けて、経済省、NEDO、産総研から、イノベーションを成功させるためには結局人材育成が鍵となることなどのコメントが出されました。懇話会に引き続き、参加メンバー間の懇親会を開き、会員相互の懇親を深め、イノベーションエコシステムなどで深い議論がなされました(写真3)。(月)マイクロマシン/MEMS分野関連【2019年12月の経済報告】マイクロマシンセンターでは、マイクロマシン/MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。今月号、マイクロマシン/MEMS分野関連【2019年12月の経済報告】をお届けします。業務の参考として頂ければ幸いです。以下アドレスよりPDFをご参照下さい。(水)第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム参加報告(11月19日-21日)第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムが、2019年11月19日から21日までの3日間にわたって静岡県浜松市のアクトシティ浜松で開催され、マイクロマシンセンターが技術展示に出展してきましたのでここにご報告いたします。一環として開催されました。発表件数は、本シンポジウムの263件を始め、全体で582件を数え、高機能の物理・化学・イメージセンサデバイス、トランスデューサ、エネルギーハーベスタ、最先端パッケージング技術などの注目すべき発表が行われ、1,000名を超える参加者による熱心な技術交流が行われました。今回、マイクロマシンセンターは、本シンポジウムの技術展示コーナーにおいて、センサネットワークシステム用基盤技術としてのパッケージング技術の研究開発成果とMEMS研究開発支援サービスについて出展いたしました。研究開発」に参画して、インフラモニタリング用無線センサ端末の高耐久性パッケージング技術を開発しました。試作開発品として、屋外の過酷な環境での長年月の使用に耐える耐候性に優れた透光性セラミックスと特殊グレードのポリカーボネート樹脂材料からなる2種類のパッケージと高気密性封止センサ端末を出展し、センサデバイスの実装評価に携わる多くの研究機関や開発メーカーの方々にご興味を持っていただきました。本技術は主として物理・光・電磁センサの実装に役立つ基盤技術で、原理検証から実証評価までの各段階でお役に立てるものと考えております。(2)MEMS研究開発試作支援サービスマイクロマシンセンターの主要事業のひとつであるMNOICが担当するMEMS研究開発試作支援サービスの活動状況を展示いたしました。製品開発に至る幅広い試作開発をサポートしております。技術展示では、MEMS研究開発拠点の8/12インチMEMSラインと、触覚センサ、圧電型振動センサ、マイクロ流路などのMEMSデバイスの試作例をご紹介いたしました。前項でご紹介したパッケージング技術も含めて、MNOICでは試作開発のご希望を常時受け付けておりますので、私どもの窓口をご訪問下さるようお願い申し上げます。IoT横断技術開発プロジェクトの成果であるIoTエッジシステム(自立電源センサ/コンセントレータ)活用事例の講演とデモ展示の報告(2019.11.27)IoTワークショップ「センシング・エッジによるIoT革新的ビジネスの潮流」と題し、2019年度第1回産業・インフラ向けIoTデバイス・システムの進展と活用事例を、会津若松市のスマートシティAiCT交流棟で行いました。今回のワークショップでは、下記のプログラムの様に、IoTセンサシステム及びエッジ処理の高性能化技術を講演とデモ展示で紹介いたしました。会津地域のものづくり企業から成る会津産業ネットワークフォーラムの会員企業やスマートシティAiCTに入居しているICT企業他一般参加者と講演関係者の約60名が集まり、各テーマの成果ポスター、開発したセンサ・コンセントレータ等のデモにより、開発者と参加者の間で、システムの設置方法やユースケース等について活発な意見交換が行われました。開発者にとっても中小企業のIoT導入課題や会津若松市のスマートシティの取り組みの中でセンサ活用について直接話を聞ける良い機会になったと思います。2020年度のIoT横断技術開発プロジェクト終了まで、学習型スマートセンシングシステムは、工場の現場作業者だけで容易に設置し、あとは学習型コンセントレータが無線センサを自動制御して必要なデータだけを収集するシステムの完成を目指し、今後もユーザヒアリングや展示会(MEMSセンシング&ネットワークシステム展)・ワークショップでの成果展示を通じて、様々なユーザのユースケースを抽出してシステムソフトウェアへのフィードバックを進めます。(月)マイクロマシン/MEMS分野関連【2019年11月の経済報告】マイクロマシンセンターでは、マイクロマシン/MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。今月号、マイクロマシン/MEMS分野関連【2019年11月の経済報告】をお届けします。業務の参考として頂ければ幸いです。以下アドレスよりPDFをご参照下さい。Centre(上海世博中心)にて開催され、関連する10月15~18日の会議に参加しました。会場の外観写真10月15日には、TC47/SC47E/WG1会議(個別半導体、センサ分野)が開催され、現在審議中の規格案についての意見交換が行われました。Specification)「スマートセンサおよびスマートセンサを駆動する電源の特性表示方法」)について、プロジェクトリーダ(PL)の1人であるセイコーインスツル古田部長から、各国に状況説明が行われました。まで到達しており、IECエディターからのエディトリアルな最終確認に対応中であることを報告しました。Specification)へ進むことになりました。Accelerometers」が紹介されました。10月16日にはTC47/SC47F/WG1-3&MT会議(MEMS分野)が開催され、29名(日本12、韓国4、中国11、ドイツ1、米国1)が出席し、現在審議中の規格案についての意見交換が行われました。SC47F国際幹事マイクロマシンセンター三原孝士をはじめとした12人でした。Standard、最終国際規格案)へ進むことになりました。最終フェーズFDISの投票中であることが報告されました。エネルギーハーベスタ、エネルギー変換・伝送分野)では、現在審議中の規格案の審議状況について、主査から報告の後、意見交換が行われました。7名が、各国と活発な議論を行いました。device」(報告済み)に関する最新検討状況が報告されました。applications」について内容紹介が行われ、各国と議論しました。産総研山本先生からは、熱電関連で今後日本から提案する規格案(報告済み)に関する最新検討状況が説明されました。10月17~18日には、TC47/SC47F全体会議、TC47/SC47E全体会議、TC47全体会議が開催され、各WGおよびSCにおいて決議された内容について各主査及び議長から報告が行われ、1週間に渡るTC47全体会議がつつがなく遂行されました。期間中、各国の出席者と交わした密な議論を通じ、各国の規格案開発について深い相互理解が得られ、引き続き審議への相互協力を誓い合うことができたことは大変有意義でありました。次回の本会議は来年11月にドイツ・フランクフルトで開催される予定です。日韓中が持ち回り開催を行っているSC47F(MEMS分野)の夏季WG会議としては、次回日本開催となり、来年6月3~5日に熊本で開催します。社会実装の意義と課題」及び意見交換会を開催致しました。社会実装の意義と課題」を開催しております。座長として「小型原子時計が革新する高度情報化社会と、そこで求められるスペック」に関した討論会を行いました。この分野に関心のあるメーカ、ユーザ、商社、研究機関を含め42名の参加者があり、活発な議論がなされ、大盛況でした(写真1:会場の様子)。初めに、主催者の一般財団法人マイクロマシンセンターの長谷川専務理事より、開会の挨拶(写真2:長谷川専務挨拶)がありました。Protocol)と超小型原子時計CSACを内蔵した製品が必要とされる背景」と題する講演(写真3:橋本氏講演の様子)が行われました。IP化することでケーブル本数や機器数を大幅に削減できるばかりでなく、リモート制作や機器の共有化等のこれまでにない新機能の実現が期待できるようになっているとのことでした。このIP化ではPTPによる高精度に時刻同期する仕組みが必要であり。Clock)が必要であるが、現状は高価で品質にも課題のある海外製しかなく、国産の安価で高品質のCSACが待望されているとのことでした。続いて、東大地震研の塩原教授から「海底観測での小型原子時計の活用」と題する講演(写真4:塩原教授講演の様子)が行われました。海底観測での活用、CSACの海底観測での国内外の導入例とULPACに期待するポイントのご紹介がありました。海底地震観測のULPACへの期待としては低コスト化と低消費電力化が最も大きいとのことでした。柳町先生の討論会の様子)。会場から活発な発言があり、大いに盛り上がりました。精度的にはNEDOの道路インフラモニタリングプロジェクトで開発したもので十分であるが、現状海外製品で問題となっている品質等についての要望が多く出されました。向け、活発な意見交換がなされ、大いに盛り上がりました。次回の交流会は2020年の1月頃に開催を予定しています。(0)Tweetマイクロマシン/MEMS分野関連【2019年10月の経済報告】マイクロマシンセンターでは、マイクロマシン/MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。今月号、マイクロマシン/MEMS分野関連【2019年10月の経済報告】をお届けします。業務の参考として頂ければ幸いです。以下アドレスよりPDFをご参照下さい。(第1回医療MEMS研究会(SSN研究会WG5))(9月30日)開催報告2019年9月30日(月)の午後、マイクロマシンセンター内にて第38回マイクロナノ先端技術交流会(第1回医療MEMS研究会)を開催しました。藤田聡先生にご講演いただき、産業界や大学から42名が出席し大盛況でした。最初の中村先生からは、「飲み込みセンサ」について、ご講演いただきました。内容は、現状の体温測定の課題から深部体温測定の重要性をお話され、それを実現する手段として飲み込みセンサを提案されています。その飲み込みセンサの構造や原理を詳しく紹介いただきました。深部体温測定が実現する様々なアプリケーションの提案もしていただき、これまで不明であった様々な病気や体調不良のメカニズムの解明が明らかになると大きな期待を抱かせる話でした。続いて関口様からは、「多方面での応用が期待されるダイヤモンド量子センサー」について、ご講演いただきました。内容は、固体量子センサの基礎から始まり、関口様が研究されているダイヤモンド中に形成される窒素(N)と空孔(V)からなる格子欠陥を用いたNVセンサの原理や特徴をお話いただきました。NVセンサの応用範囲もお話いただき、個人的には今後のヒトの脳の活動を簡便にセンシングできるセンサとして、大いなる期待をもちました。最後に、医療MEMS研究会からは、藤田先生より「筋肉の維持・増加に向けた栄養と運動介入」について、ご講演いただきました。内容は、サルコペニア(加齢に伴う筋量と筋機能の低下減少)の概要やその弊害、さらには筋量と筋機能の低下を抑えるための栄養摂取や運動のお話をしていただきました。ヒトが生産的な活動をし続けるには、体力の維持・向上がベースとなり、その大切さを改めて認識することができました。講演会後の懇親会では、ご講演いただいた先生方を囲んで、講演内容を中心に多くの意見がかわされました。バックナンバー2020年1月2019年12月2019年11月2019年10月2019年9月2019年8月2019年7月2019年6月2019年5月2019年4月@niftyが提供する無料ブログはココログ!。