(参照专利文献1的第7栏第13〜18行)。B阶段固化状态和C阶段固化状态。B阶段固化状态和C阶段固化状态。层压装置;41腔室;42橡胶;43加热装置。12、ρ型用配线13及连接用配线14的配线16。另一方面,连接用配线14为带状。13⁄4及ρ型用配线13b以外,相邻的η型用配线12和ρ型用配线13通过连接用配线14电连接。图1(b)中表示沿图1(a)的Ib-Ib的示意性剖面图。12及P型用配线13。例如可以为25μπι以上、150μπι以下。