1300瓦特,室压为5毫乇,底部电极为-10°C。天线应用400瓦特,RF偏压功率为40瓦特。20°C的绝缘液体,以便冷却窗口。20和气体分配板22之间的间隙,从而向真空加工室10供应工艺气体。temperature.在氧化腐蚀过程中,室压一般低于300毫乇,最好为2-40毫乇,天线功率为200-2000瓦特,最好为400-1600瓦特,RF偏压为≤2200瓦特,最好为1200-2200瓦特,He背压为5-40乇,最好为7-20乇。C2HF5和/或10-100C2F6。28通过天线18循环流体。100w/mk,密度为3.27gm/cm3,热容量为0.2cal/gm-k,辐射能力为0.75。/或具有一或多个(如3至7)匝的螺旋形状。18的外部流向中央,或者从螺旋天线18的中央流向外部。siteps),从而形成延迟,使真空室以及窗口/气体分配板22装置可以冷却。104kg/m2的气压。2cm厚的φ=40cm的石英窗口。