原子間力顕微鏡モード特殊モードナノインデンテーションおよびナノスクラッチナノインデンテーションおよびナノスクラッチナノスケールサンプルの硬度および摩耗測定に対応インデンテーションは、サンプルの硬度や弾性率といった機械的特性の測定に広く用いられているテクニックです。AFMシステムのダイヤモンドプローブなら、ごく少量のサンプルでナノインデンテーション測定を実施し、貴重なデータを得られます。AFMでは、ナノスクラッチおよび摩耗測定により、膜の吸着力や耐久性を調べることもできます。ブルカーのNanoManおよびNanoPlotソフトウェアパッケージは、SPMプローブの平面内ポジションおよび動作の柔軟かつきわめて正確なコントロールを可能にします。これにより、ナノスケールサンプルの正確な直接マニピュレーション、表面インデンテーション、高解像度ナノリソグラフィーが実現します。