1322,以减少指向误差。类似于上述遮罩622,可侧向(即,正交于光束1306的轴线)移动遮罩1322,由此移动光束1306、细光束1316a-1316d、以及划刻在工件1301上的线1303a_1303d。例如,如图9所示及以上所述。光学头1300在光束传输系统1310中也可包含均光器1350。1350的替代均光路径。1316a-1316d(图14)。上调整划刻线1303a-1303d。1316a、1316b、1316d)。1301上的划刻线1303a-1303d的不一致性。1303a-1303d。1316a-1316d的光学路径长度。(ablation)来加工工件。1316a-1316d的各种参数。在一个实施例中,成像光学系统1324可耦合至定位平台1328,定位平台1328使所有透镜1326a-1326d在Z轴上一起移动。例如,以顺应各别细光束1616a-1616d的侧向位移。