512、522、532。512、522、532。(例如,沿X轴)线性地移动。以在整个扫描轴线(例如,沿Y轴)上进行调整。610,光束传输系统610将来自激光源602的激光束606分成多个细光束616a-616d并将细光束616a_616d成像于工件(图未示出)上。传输至移动光学头600。606或每一细光束616a_616d。eye)”光束均光器。622被平移,例如,在箭头2方向上平移。616a-616d的侧向位移,例如,进而调整细光束616a_616d在工件上的位置。至30%的光束被利用)。/或工艺而在约10%至90%之间变化。