404所支撑的基座402。401的部件运送系统410包含用于抓握工件401的真空抓具414以及用于支撑工件401的滚轴418。真空抓具414被支撑在运动平台415上,运动平台415能够沿引导轴线(即Y轴)移动工件401,以引导工件401通过加工部。举例而言,运动平台415也可沿扫描轴线(即X轴)移动抓具414,以旋转工件401。hood)432,碎屑收集罩432安装在与光学头422反向的顶侧上。401时自工件401的顶侧收集碎屑。400,因此顶侧扫描平台434是固定的。;PET)(图5A)上。