Multiphysics®のプラズマモジュールを解説します。低圧非平衡プラズマ放電を目指して、プラズマを構成する電磁場と荷電粒子の間の複合的相互作用の計算を行います。容量結合プラズマ(CCP)、誘導結合プラズマ(ICP)、およびマイクロ波加熱による放電(マイクロ波プラズマ)など、最も一般的なタイプのプラズマプロセスの計算事例を練習することで、低圧非平衡プラズマのシミュレーション手法を習得できます。