シリコンウェハ用めっき実験装置セット2~12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。専用の治具を使用することで、半導体・MEMS・マイクロマシンの精密なめっきが行なえます。常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造で、直接の撹拌にはパドル撹拌を利用します。シリコンウェハだけでなくSiC、ガラス,GaAs,InP等の素材の基板へもお使いいただけます。生産設備としてもご利用いただけます。(国内外で特許数件取得済み、他数件出願中)標準サイズは2~12inchになりますが、ご要望により各種ご希望の装置を製作致します。