このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。Committeeで技術的に承認されている。Subcommitteeにて発行が承認された。2008年2月にwww.semi.orgで。初版は1998年に発行された。本文書は2008年全面的に書き換えられた。このスタンダードは,クロムブランク用フォトレジストおよび電子線レジストコーティングに関する一般的必要項目について述べる。P1およびP2を参照。