休みにした(^_^;。スパッタ装置組付やっとこさ時間が取れ、長らくの懸案だったガス導入の組付け作業。フレームへ穴開け、フローコントローラとバルブを組んでプレートへ固定。ほんでプレートをフレームへ固定。レンチがちょうどフレームと導入フランジとの間に挟まったかたちで噛んでしまう。よっこいしょと上に持ち上げて隙間を作った...ら、腰に疼痛が(笑)。真空排気できるところまでやってターボを回し、急遽接骨院へ。接骨院から戻ってきたが、とりあえずバラトロンでわかるレベルのリークは無し。うう、ちょうど減圧弁のテフロンパッキンも切れてた。明日三栄商会に寄って買うか。川崎接骨院そんなわけで原付で。今日の重量上げでダメ押しをしてしまったのでしょう、とのこと。風呂は入るな、ということで。