(32)通过衰减部件(21)使激光(2b)在聚光镜(17)之前或之后衰减,而且通过聚光镜(17)聚光,并由测量机构(19)测量激光(2b)的光能。(21a),以遮挡激光(2b)的中心部分。·.滤光器(衰减部件);21a...遮挡部;22...贯穿孔;23...传感器;30...控制部;31...激光加工装置;32...激光能測量装置。激光加工装置31通过激光2a在打印基板8上进行开孔。在从激光振荡器I输出的激光2的光轴上,配置有脉冲整形器18、全反射面镜4a、掩模12、全反射面镜4b以及光束分离器16。激光振荡器I输出脉冲状的激光2。O次光15被光束阻尼器14吸收。(图示中为3个)掩模孔12a。光束分离器16使入射的激光2的2%透过,并将剩余的反射。17、滤光器21以及光能測量部19。Θ透镜3载置于加工头7。加工头7利用Z轴马达13沿箭头Z方向进行移动。