基本的な数値解析を有し、材料・プロセスデータベースから解析に必要なデータをユーザが容易に取り出し利用することが可能な解析システムです。材料・プロセスデータベース、知識データベースとの連携により、利用者が安心して設計・解析できる環境を提供し、MEMSプロセスシミュレータもしくはエミュレータによりMEMS加工構造を実現し、総合的に検証、評価するシステムです。個々のプロセスだけでなく、プロセス全体を通した温度変化を基に機構解析シミュレータの熱応力解析や熱伝導解析機能を利用した温度履歴解析も可能です。ウェットエッチング解析シミュレータ・異方性ウェットエッチング解析シミュレータエッチング形状の過渡変化を検討できます。コーナー補償パターンの検討ができます。マルチプロセスエミュレータや機構解析シミュレータで解析結果を利用できます。(100)、(110)、(111)ウェハに対応しています。エッチングレートデータとしてKOH40°C、40wt%が登録されています。エッチングレートデータの追加が可能です。プロセス逆問題MEMS構造体形状から、その加工プロセスを解析により導出し、加工用マスク形状を求める解析ソフトです。MEMS設計技術者の設計ノウハウと実験的に採取したプロセスデータを組み込み、ノウハウを持たないプロセス設計者にその道筋をガイダンスし、センサ、光デバイス、RFデバイスなどのMEMSデバイス製作におけるプロセスとマスクを容易に設計できるようにするMEMS開発支援ツールです。ナノインプリント−機能−熱および光を利用したナノインプリント加工を解析する機能です。光ナノインプリント加工を解析するには力学系解析が必要で、光ナノインプリント加工は光を電磁波として解析する高周波の電磁波解析(FDTD法を採用)が必要です。本シミュレータは、これらの解析機能を有しています。考慮した解析により、金型との相互作用を解明。□光照射時の強度分析を電磁波解析で求める。MEMS回路シミュレータ電子回路シミュレーションの手法を基に、従来の電気的自由度だけでなく、機械的自由度も扱えるように拡張した、汎用的なシミュレータで、MEMSと電子回路の集積化による動作を予測することが可能です。フレームワークソフトは、購入商品に必要な機能が装備されます。材料・プロセスDBは、全ての商品に装備されます。販売元は、みずほ情報総研株式会社となっています。Corporation。