概要:RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。今まで不可能だったRF電源による成膜を円筒カソードに応用する事が可能になります。これにより、円筒セラミックターゲット等の非導電性ターゲットのスパッタや、DC電源とRF電源を重畳させる事による、ITO等の透明電極膜の低抵抗化を期待できます。註:ターゲットが長くなればなるほど、分布が低下する可能性がございます。従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。「COPRA」ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。SCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。ドイツ・ADL社は、1992年に設立されたスパッタ用電源メーカーです。新製品としてNi(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。-.デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。