カソード米国・SAS社製プレーナーカソード特徴:-特許技術により最大45%のターゲット使用効率を引き出します。-矩形、ラウンド形いずれの形状もカスタマイズで製作致します。-特に、Co系、Ni系、Fe系の磁性ターゲット専用カソードを得意としています。RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。CMカソードは、SCI製エンドブロックのラインナップ初の内径80mmの小径ターゲットを搭載できるモデルです。約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。ロータリーカソードSCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。cMCSCI社がこの度最新型のロータリーカソードをリリースしました。世界最小クラスの片持ち式ロータリーカソード、型式cMCです。従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。-.デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。「COPRA」ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。MICRO-200は、真空装置内で、2.45GHzのマイクロ波を使い、強制的にプラズマを発生させる装置です。