本発明からなる微粒子触媒あるいは比較例1の含浸触媒70mgを直径6mmの石英製反応管40に充填し、熱電対37を反応管の外壁に固定し、電気炉39にセットした。窒素ガス30を流しながら600°Cに昇温し、次いで水素ガス29を1時間導入して触媒を還元した。還元後、反応ガスであるメタンボンベ27及び窒素ボンベ28をメタン濃度10%、流量70ml/minになるよう流量調整する。このガスをマントルヒーター34で60°Cに加温されている水35にバブリングすることにより水蒸気を触媒36に導入した。反応後のガスを水トラップ器41で水分を除いた後、ガスクロマトグラフィー42で分析し、製造した水素、一酸化炭素の量及びメタンの入口、出口量からメタン転化率を求め、触媒活性の評価を行った。表1にその結果を示す。反応温度は500°C、600°Cである。表1はメタン転化率が大きい程触媒活性は優れていること示している。平衡到達率とは、熱力学データーからメタン転化率を理論的に求めた値に対する実験値の割合を示し、これが1であれば理論値に達していることを示す。表1に示すように、第1実施例、第2実施例の触媒は、比較例1の触媒に比べ、メタン転化率は高く且つ平衡到達率は1に近いことが分かる。この結果、本発明の触媒は従来触媒に比べ高活性を示すことは明らかとなった。(第3実施例)第2実施例で調製した微粒子触媒を用いて、一酸化炭素(CO)転化反応を行った場合の適用例を以下に説明する。CO転化反応は次式で示すように一酸化炭素を水蒸気と反応させて水素と二酸化炭素にする反応である。【0081】CO+H2O=CO2+H2第3実施例に用いた装置は、第1実施例及び第2実施例で用いた図3の装置と同じであり、ガス種をCOにした以外は基本的に同様である。性能評価はCOの転化率で示した。一定温度におけるCOの転化率を求め、触媒活性の指標とした。CO量を測定し、以下の式から転化率を求めた。反応ガスは15%一酸化炭素-窒素混合ガスを70ml/minで50°Cに加温してある水にバブリングして水蒸気を反応器に導入した。反応温度は350°C、400°Cとした。その結果、反応後のガス組成は350°Cで一酸化炭素5.3%、400°Cで1.2%でありCO転化率はそれぞれ65%、92%であった。製造物である水素、二酸化炭素を確認した。このように大気圧プラズマにより製造した微粒子触媒は、CO転化反応においても高活性を示すことが明らかとなった。一般に触媒活性成分としての金属は、その粒子径が小さいほど高分散され、活性は優れていることが知られている。従って触媒としての性能を向上させるためには、如何に触媒活性成分である金属の粒子径を小さくし、高分散させるかがポイントである。かかる観点から、以下に本発明による微粒子触媒の製造方法が、微粒子触媒を調整する上で優れているかを以下に示す。【0084】(第4実施例)第4実施例では酸化触媒や燃焼触媒としてよく用いられる貴金属系触媒の一つである白金触媒について、図1に示した大気圧プラズマによる熱分解で微粒子触媒を製造した。白金(Pt)を5%含むテトラアンミン白金ジクロライド([Pt(NH3)4]Cl2)を溶液に溶解し、この溶液を微細液滴とし、これを大気圧プラズマにより熱分解し白金微粒子触媒を製造した。第4実施例で得た白金微粒子触媒の結晶構造を、粉末X線回折装置で測定した。図4はその結果を示したものである。この結果から、白金は金属状であり、その結晶子径をSherrerの式を用いて算出した結果24.7nmであった。第4実施例からナノサイズの結晶子径を持つ白金微粒子が製造できることが確認された。)従来技術である、白金溶液を高温に加熱し水分を蒸発させて白金触媒を製造する方法で製造し、実施例触媒と比較した。第4実施例で用いたテトラアンミン白金ジクロライド([Pt(NH3)4]Cl2)溶液を、120°Cの乾燥機中で蒸発乾固した後、600°Cで焼成した。この試料をX線回折装置で測定した結果、結晶構造は金属状白金であり第4実施例と同じであったが、その結晶子径を求めた結果43.8nmであった。第4実施例及び比較例2で製造した白金の結晶子径を比較すると、本発明からなる第4実施例により製造された白金触媒は、従来の熱分解法で作製した比較例2の白金に比べその結晶子径は著しく小さいことが明らかとなった。【0087】(第5実施例)第5実施例は、白金とルテニウム(Ru)の2種類の成分を含む触媒活性成分を、図1に示す大気圧プラズマ法により熱分解し、微粒子触媒を製造した。白金を15%含む塩化白金酸(H2PtCl6)溶液と8.5%塩化ルテニウム(RuCl2)溶液を1:1で混合した。本実施例では還元ガスとして水素ガスを用い、キャリアガスであるアルゴンガスに混合した。第1実施例と同様にして、白金とルテニウムの合金微粒子を得た。結晶構造をX線回折装置で調べた結果を示す。ルテニウムやルテニウム酸化物のピークはいずれも認められず、白金(III)の回折ピークが標準ピークに比べ0.86°高角度側へシフトしていることが確認された。これは白金とルテニウムが合金化していることを示している。Sherrerの式を用いて算出した白金の結晶子径は、還元ガスとして水素を用いた場合29.7nmであった。第5実施例で明らかなように、白金とルテニウムは単に混合しているのではなく合金を形成していることが分かった。従って、本発明によれば微粒子合金触媒を容易に製造できることが分かった。【0091】(第6実施例)第6実施例では白金とルテニウムの2種類の触媒活性成分を溶解した溶液を、微細液滴とし、これをプラズマにより熱分解し微粒子触媒を製造したが、その際、還元剤としてメタノールを用いた。その他は第4実施例と同様である。還元剤であるメタノールは予め白金とルテニウムの混合溶液に添加しておき、超音波により微細液滴とし、大気圧プラズマにより熱分解し製造した。図6は製造した微粒子触媒の粉末をX線回折装置で測定した結果を示したものである。第5実施例と同様にルテニウムやルテニウム酸化物のピークはいずれも認められず、白金(III)のピークは標準ピークに比べ0.46°高角度側シフトしており合金化していることが分かった。Sherrerの式を用いて算出した白金の結晶子径は23.0nmであり、水素を還元剤として使った第4実施例に比べ更に微粒子である合金触媒が得られた。製造方法及びその装置により製造させる微粒子触媒を用いれば、アルコール、メタン、灯油等の炭化水素燃料を効率的に水蒸気改質し、水素を製造することができる。一酸化炭素と水蒸気とを反応させ水素を製造する改質触媒として用いることができる。【図2】本発明からなる微粒子触媒の電子顕微鏡写真である。【図3】触媒の活性評価装置のブロック図である。【図4】白金触媒の粉末のX線回折図である。【図5】還元ガスとして水素ガスをアルゴンガスに混合し製造した白金-ルテニウム合金触媒の粉末のX線回折図である。【図6】還元剤としてメタノールを用いて製造した白金-ルテニウム合金触媒の粉末のX線回折図である。