・成膜レートを最大3倍に向上させる事も可能(例:SiO2のリアクティブ成膜)・200nmから1100nmまでの波長を一つのセンサーで解析出来るため、ターゲットの種類、プロセスの種類毎にセンサーやフィルターを代える必要がない。・スペクトル分析法を採用している為、常に高精度でArとリアクティブガスの比率を監視しており、品質の安定化を図れる。・スペクトル分析法を採用している為、わずかな光の異常により、真空のリークや、水のリークを検知可能。・スペクトル分析法を採用している為、ターゲットからバッキングチューブが露出した場合の光のわずかな異常を検知可能となり、ターゲットを使用効率の限界まで利用できる。従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。CMカソードは、SCI製エンドブロックのラインナップ初の内径80mmの小径ターゲットを搭載できるモデルです。約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。新製品としてNi(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。ロータリーカソードSCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。「COPRA」ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。内径80mmの小径円筒ターゲットを搭載するドロップインタイプの小型ロータリーカソードです。cMCSCI社がこの度最新型のロータリーカソードをリリースしました。世界最小クラスの片持ち式ロータリーカソード、型式cMCです。RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。