●TCエンドブロックSCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。両側とも58mmの厚みでできている為、プレーナーカソードからの改造の場合も、非常に簡単に左右対称性を得られます。TCエンドブロックの両側とフランジ面の間にスペーサーを挟めば、自由にターゲット‐基板間の距離を変更可能となります。SCI製マグネットバー、全種類と互換性があり、搭載可能です。約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。「COPRA」ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。CMカソードは、SCI製エンドブロックのラインナップ初の内径80mmの小径ターゲットを搭載できるモデルです。新製品としてNi(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。-.デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。ドイツ・ADL社は、1992年に設立されたスパッタ用電源メーカーです。cMCSCI社がこの度最新型のロータリーカソードをリリースしました。世界最小クラスの片持ち式ロータリーカソード、型式cMCです。