SJN「第23回マイクロマシン/MEMS展」が、2012年7月11~13日の3日間、東京ビッグサイトで開催される。次世代ロボット製造技術展」も同時開催され、MEMSとその応用分野である次世代サービスロボットの要素技術が集結する。展示ホール内の特設会場では、連日、様々な講演プログラムも催される。本稿では、注目したい講演タイトルをピックアップして紹介する。会場風景7月11日(水)開催初日は、「半導体企業のためのMEMS講座」と題するプログラムが企画されている。センター教授の年吉洋氏が、それぞれMEMSのビジネス面、デバイスメーカー事例、技術面について講演する。新たにMEMS分野に目を向ける人にとっては、3日間の講演プログラムのガイダンス的な意味を持つ内容となる。10:10~12:00)「第18回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム」も開催される。MEMSディスプレイ技術について講演する。13:00~16:50)2011年7月に始まったNEDOの「グリーンセンサ・ネットワークプロジェクト」は、ちょうど1年を迎えて成果報告会を行う。NMEMS技術研究機構の研究メンバーから、コンビニなどでのセンサネットワーク実証実験の状況をはじめ、電力・環境モニタリング用MEMSセンサの開発状況、センサ端末用自立電源やデータ集約用コンセントレータなどについて報告がある。世界的なNMEMS研究拠点の活用」が開催される。大口径ナノインプリント、300mmウェハー対応シリコン深堀装置、ALD装置など最新の装置技術や、京大・東北大などでのオープンイノベーションの取り組みに関するセッションが設けられている。デバイス製造技術開発プロジェクト(BEANSプロジェクト)は、2008年にスタートし、今年が最終年度。「BEANSプロジェクトセミナー」では、プロジェクト活動のレビューと最新研究成果についての発表がある。林信行氏が「アップルはいかにして15年で破産寸前から世界のトップ企業に生まれ変わったか」と題して基調講演を行う。専門講演では、オープンハードウェアやクラウド連携を活用した新しい機器開発の現場を紹介する。MEMS設計開発を支援アルバック、TSV形成などで高い技術力発揮。定番記事マックス・プランク研究所ら、絶対零度より低温の気体を実証。