Japanese)流体制御デバイス(10)は、マイクロチップ又はバイオチップの流路(23)に配置され、流路内の流体の輸送又は圧送等を行う。流体制御デバイスは、光駆動可能な可動部(12)と、可動部を回転可能に支持する固定部(11)とを有し、可動部及び固定部は、光造形法によって流路内に造形した光重合性樹脂の光重合体からなる。複数の固定部が、流路を形成する基板(2)又は流路壁(21)に固定され、複数の可動部が、各固定部に回転可能に支承される。少なくとも一つの可動部は、レーザー光(L)の照射による遠隔操作によって回転し、近接する可動部と協働して流路の容積変化又は変形を生じさせ、流路内の流体を輸送又は圧送する。Japanese)光重合性樹脂原料にレーザー光を照射して三次元構造の光重合体を造形する光造形法が知られている。resin)又はフォトポリマー(photopolymer)とも呼ばれる高分子材料である。光重合性樹脂の光造形法を用いた微小構造体の製造方法が、例えば、特開2001-158050号公報、特開平11-170377号公報、特開2000-202916号公報等に開示されている。光造形法においては、液状の光重合性樹脂原料にレーザー光が照射され、光重合体からなる三次元構造体が、液状の樹脂原料内に造形される。このような光造形法によれば、レーザー光の集光点及び2光子吸収を正確に制御することにより、比較的複雑な三次元構造を有する単一マイクロギア等の微小構造体を光重合性樹脂原料によって成形することができる。光重合性樹脂の光造形法によって成形した微小構造体を駆動する方法として、レーザー光を微小構造体の可動部に照射し、可動部を光トラッピングした状態でレーザー光の集光点を移動させて可動部を駆動する微小構造体の駆動方法が知られている(特開2003-25295号公報)。このような光駆動の原理を利用してサンプル液及び試薬液を混合する光圧ミキサを備えたマイクロチップが、特開2001-252897号公報に開示されている。光圧ミキサは、リソグラフィ技術によって成形され、サンプル液流路及び試薬液流路の合流部に配置される。レーザー光が光圧ミキサに照射され、光圧ミキサは、光圧によって回転し、合流部においてサンプル液及び試薬液の混合を促進する。特開2005-27495号公報には、中心軸及び羽根部材と、光駆動可能なビーズとから構成される複合構造のロータが開示されている。羽根部材は、中心軸から放射状に延び、ビーズは、羽根部材に取付けられる。ビーズは、光トラッピングにより流路の所定位置に位置決めされるとともに、光ビームの移動によって移動する。ロータは、ビーズの移動により回転し、マイクロポンプのロータとして機能する。光駆動の原理を利用した流体輸送方法として、液体中に浮遊した微粒子をレーザー光で遠隔操作し、微粒子の運動を利用してマイクロチップ内の液体を流動させる方法が、近年において提案されている。近年、微小なマイクロチップ又はバイオチップ等を用いて化学合成分析プロセスを実行するマイクロ化学分析システムの研究・開発が注目されている。一般に、この種のマイクロチップ等においては、DNA又は蛋白質等を含む流体を電気泳動によって輸送し、或いは、図12に示す如く、マイクロチップ100及び外部機器101の制御下に流体供給系106の流体を分析装置105に給送している。外付けシリンジポンプ等の比較的大型の外部機器101は、流体管路102によってマイクロチップ100の流出口に接続され、外部機器101の吐出口は、流体管路103によって分析装置105に接続される。Japanese)本発明は、流体制御デバイスに関するものであり、より詳細には、マイクロチップ又はバイオチップ内の流路に配置される光重合性樹脂の流体制御デバイスに関するものである。空間光変調素子を用いて複数の焦点を複数の前記可動部に夫々形成するようにレーザー光を前記可動部に照射し、レーザー光の集光点の移動によって複数の前記可動部を同時に独立駆動することを特徴とする流体制御デバイスの作動方法。Japanese)掲載特許について詳しくお知りになりたい方はHPの「お問い合わせ」ページにてお問い合わせください。