cMC注目の新製品SCI社がこの度最新型のロータリーカソードをリリースしました。世界最小クラスの片持ち式ロータリーカソード、型式cMCです。既存製品のMC-Dの基本性能を継承しながら、幅を従来型MC-Dの154mmから125mmへコンパクトにしました。チャンバー内スペースを減らす事が可能になる為、装置の小型化と、ポンプ数を減らすことが可能になります。約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。ロータリーカソードSCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。MICRO-200は、真空装置内で、2.45GHzのマイクロ波を使い、強制的にプラズマを発生させる装置です。RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。SCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。-.デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。内径80mmの小径円筒ターゲットを搭載するドロップインタイプの小型ロータリーカソードです。