概要:MICRO-200は、真空装置内で、2.45GHzのマイクロ波を使い、強制的にプラズマを発生させる装置です。従来型のスパッタ装置にアシスト部品として追加する事によって、ECRスパッタ環境を構築する事が可能となります。マグネット強度やカソード電圧に依存することなく、個別にプラズマを制御する事が可能となります。カソード電圧に依存せずにプラズマを制御できる為、低電圧での成膜が可能となり、基板への熱ダメージを低減可能となります。従来型のスパッタ装置のプラズマよりも、高密度且つ高イオン化率のプラズマを発生させる為、成膜速度の向上を期待できます。-.低真空圧環境でも、高密度・高活性なプラズマ発生させる為、酸化物や窒化物等リアクティブスパッタに有効な環境を構築可能となります。ロータリーカソードSCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。-.デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。ドイツ・ADL社は、1992年に設立されたスパッタ用電源メーカーです。約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。内径80mmの小径円筒ターゲットを搭載するドロップインタイプの小型ロータリーカソードです。cMCSCI社がこの度最新型のロータリーカソードをリリースしました。世界最小クラスの片持ち式ロータリーカソード、型式cMCです。「COPRA」ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。