●RAMーBAR約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。スパッタプロセス中に、光ファイバーを使って信号を送り、マグネットバー内部のモーターに命令を与え、マグネットとターゲット間の距離を0.5umの分解能で調整します。その調整ポイントが約30cmごとにあり、究極の分布を実現します。「COPRA」ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。ロータリーカソードSCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。新製品としてNi(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。ドイツ・ADL社は、1992年に設立されたスパッタ用電源メーカーです。MICRO-200は、真空装置内で、2.45GHzのマイクロ波を使い、強制的にプラズマを発生させる装置です。SCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。