特徴:-.デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。-.真空中でのインライン測定、大気中での卓上測定、いずれも可能です。-.従来型よりも、センサーの測定レンジが約400倍広い為、膜種や膜厚によってセンサーを取り替える必要がありません。-.従来型の約50倍の速度で、測定します。-.従来型の約2.4倍の分解能で測定します。(NIST)の標準サンプルに対し、99.9%以上にまでキャリブレーション可能です。1,000註:上記3種類のセンサーから、アプリケーションに応じ選択頂けます。註:上記センサーのホルダーは互換性がある為、後から異なるセンサーに乗せ換え可能です。SCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。ロータリーカソードSCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。CMカソードは、SCI製エンドブロックのラインナップ初の内径80mmの小径ターゲットを搭載できるモデルです。「COPRA」ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。内径80mmの小径円筒ターゲットを搭載するドロップインタイプの小型ロータリーカソードです。RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。cMCSCI社がこの度最新型のロータリーカソードをリリースしました。世界最小クラスの片持ち式ロータリーカソード、型式cMCです。従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。