●CMカソードCMカソードは、SCI製エンドブロックのラインナップ初の内径80mmの小径ターゲットを搭載できるモデルです。ターゲット中心距離が、100mm以上あれば、デュアル搭載が可能なモデルです。ターゲットフランジが交換できるようになっており、内径125mmの標準的なターゲットも搭載可能です。チャンバー内に十分なスペースが無い場合は、非常に有効なツールです。cMCSCI社がこの度最新型のロータリーカソードをリリースしました。世界最小クラスの片持ち式ロータリーカソード、型式cMCです。新製品としてNi(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。「COPRA」ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。内径80mmの小径円筒ターゲットを搭載するドロップインタイプの小型ロータリーカソードです。従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。