Japanese)携帯電話や無線LANシステムなどの情報通信分野において、発振器や受信器などの様々な装置に高周波回路が搭載されている。このような高周波回路としては、その周波数帯域が1GHzから10GHzのものが特によく利用されている。ここでいう高周波とは、広くは電磁波として総称できる。高周波回路における高周波の伝送線路としては、これまで様々な提案や実用化がなされてきたが、その中でも、複数の平板導体と誘電体とを用いた伝送線路が広く利用されており、特にマイクロストリップ線路と呼ばれるものが一般的である。マイクロストリップ線路は、図20(a)に示すように、平板状の誘電体101の一方の平面全体に面状導体102が設けられ、他方の平面に線路状のストリップ導体103が設けられることにより構成される(非特許文献1参照)。上記マイクロストリップ線路10では、通常、上記ストリップ導体103は電磁波のガイドとして機能し、ストリップ導体103の一端は電磁波の入力部、他端は出力部として機能する。上記入力部には電力給電部が接続され、上記出力部には電力取出部が接続される。マイクロストリップ線路には、図20(b)に示すように、ストリップ導体103が誘電体101の内部に埋設されたものや、図20(c)に示すように、誘電体101がストリップ導体103と面状導体102との間に部分的に介在するものもある(非特許文献1参照)マイクロストリップ線路10における伝送線路の途中に、フィルタ、分配(例えばT分岐)、結合などの機能をもつ素子を搭載するには、ストリップ導体103の周辺(マイクロストリップ線路を電磁波が伝搬する際にストリップ導体から発生する電界の分布する空間)に、それぞれの機能に応じた形状や大きさを有する別の導体を設置すればよい(非特許文献2,3参照)。前記プラズマを生成するための電離対象となるガスを、前記プラズマを生成する空間に保持するガス保持部材をさらに備えることを特徴とする請求項10又は11の何れか1項に記載の電磁波伝送回路。