MEMS技術で作製した共振器構造を用い、室温環境で高速かつ高感度にテラヘルツ電磁波を検出できる素子を開発した。ナノ科学研究センターの平川一彦教授と張亜特任助教(当時)を中心とする研究グループは2019年5月、MEMS技術で作製した共振器構造を用い、室温環境で高速かつ高感度にテラヘルツ電磁波を検出できる素子を開発したと発表した。従来のテラヘルツ検出器は、高い感度を得るために検出素子(ボロメーター)を液体ヘリウム温度(約−270°C)の極低温まで冷却して用いるのが一般的であった。このため、テラヘルツ検出器の利活用は限られていた。研究チームは今回、GaAs(ガリウムヒ素)系半導体を用い、長さ約100μmのMEMS両持ちはり共振器構造を作製した。微小な共振器構造にすると、室温でも極めてシャープな共振周波数特性を示すことが分かっている。この構造にテラヘルツ電磁波が入射されると、MEMSはりは電磁波を吸収して温度が上昇し熱膨張する。開発したテラヘルツ検出器は、熱膨張によって生じる共振周波数の変化を読み出すことで、入射したテラヘルツ電磁波の強度を検出する仕組みである。したテラヘルツ検出素子は、焦電検出器や酸化バナジウムボロメーターといった従来の室温動作熱型テラヘルツ検出器と同等の感度を維持しつつ、100倍以上も高速なテラヘルツ検出を可能にした。研究チームは、開発したテラヘルツ検出素子が簡便に利用できるため、さまざまなテラヘルツ計測器に組み込むことができるとみている。(産総研)の研究グループは、半導体工場にある既存の製造装置を用いて、極めて薄い半導体ひずみセンサーチップを基板から個別に切り離し、電子回路上に実装する技術を開発した。ナノ空間に閉じ込めた水が「負の誘電率」を持つ東京大学の山田淳夫教授らによる研究グループは、MXene(マキシン)と呼ぶ層状化合物の層間ナノ空間に閉じ込められた、リチウムイオンと結合している水分子が、「負の誘電率」という特性を持つことを発見した。高エネルギー密度の電気二重層キャパシター(EDLC)の開発につながる可能性が高い。NECと東大、カメラで高速かつ高精度に物体認識NECと東京大学の研究グループは共同で、「高速カメラ物体認識技術」を開発した。エレクトレットを外付け東京工業大学(東工大)は、新原理の振動発電素子を東京大学と共同で開発し、発電することを確認した。開発した素子は、MEMS可変容量素子とエレクトレット層を個別に作製し、電気配線で接続する構造である。(FCC)は、95GHzと3THzの周波数の利用に向けて、新しいカテゴリーとなる実験用ライセンスを作成した。京都大学らの研究グループは、高温超電導体を用いた超電導テラヘルツ光源を作製し、円偏光特性を持つテラヘルツ波の放射に成功した。市販の単3形電池をつなぐだけで円偏光テラヘルツ波を放出できるという。LLC.ITmediaはアイティメディア株式会社の登録商標です。