●スイングカソード従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ装置にはロータリーカソードは使えないという欠点がございました。このスイングカソードは、内部のマグネットバーが首ふり扇風機のように左右に揺動します。このスイングカソードを複数本並べることによって、従来不可能であった静止した基板に対し、±2%以下の分布と共に、ロータリーカソードの最大の利点である、70%以上のターゲット使用効率の両方を実現します。cMCSCI社がこの度最新型のロータリーカソードをリリースしました。世界最小クラスの片持ち式ロータリーカソード、型式cMCです。MICRO-200は、真空装置内で、2.45GHzのマイクロ波を使い、強制的にプラズマを発生させる装置です。内径80mmの小径円筒ターゲットを搭載するドロップインタイプの小型ロータリーカソードです。SCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。-.デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。新製品としてNi(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。ドイツ・ADL社は、1992年に設立されたスパッタ用電源メーカーです。