注目の新製品ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。ヨーロッパのほぼすべての装置メーカーで、そのPVDアシスト用、またはPECVD用のプラズマソースとして採用されています。特徴3:ICP方式な為、チャンバー汚染リスクが低く、メンテナンス負荷が低い特徴4:ICP方式な為、投入パワーに伴うイオンエナジーの変化が少なく基板ダメージが少ない。註:投入パワーにかかわらず、イオンエナジ―は一定です。ロータリーカソードSCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。-.デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。ドイツ・ADL社は、1992年に設立されたスパッタ用電源メーカーです。従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。SCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。CMカソードは、SCI製エンドブロックのラインナップ初の内径80mmの小径ターゲットを搭載できるモデルです。新製品としてNi(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。