Device)によるTDI方式の例としては非特許文献1等数多くのものがある。TDI方式をCMOSイメージセンサを用いて実現する方法を検討したものとして、非特許文献2が挙げられる。一般的にCMOS技術ではCCDのような高効率の電荷転送が行えないので、アナログ方式での高性能TDIは実現が難しい。他方信号をデジタル化し、足し算器を使う事で転送によるロスは防げるが、回路規模が大きくなってしまい、高精細なピクセルの実現は難しい。現在ベルトコンベア等で移動する検査物中の異物検査や、ドキュメントのラインスキャン等では、光源又はX線源とCCDを用いた時間遅延積分(TDI)方式が主に用いられている。TDI方式のCCDでは図1に示すように、光またはX線(A)により生成された電荷を隣の画素(ピクセル)に転送(B)しながら、さらに新たに収集された電荷を積分(C)するようになっており、ベルトコンベアに乗って流れる検査物の移動(A)とCCDの電荷転送(B)とを同期させCCDイメージセンサをラインセンサとして用いる事で、露光時間を長くとる事ができ、1次元のラインセンサに比べS/Nを向上させた測定が行える(特許文献1)。CCDではピクセルの大きさ、電荷転送速度、ピクセル中に蓄える事の出来る電荷量等に制限が有り、高速(20m/min以上)で流れる検査物中から微小(直径50μm以下)異物を確実に検出する事は難しい。CCDの電荷転送効率は非常に高いが、それでも電荷転送が多くなると転送電荷の消失やオーバーフローが問題となるため、TDIの段数の増加には限度がある。Integral)方式に使用されるデジタルTDI方式検出器(イメージセンサ及び該イメージセンサの駆動方法)、デジタルTDI用駆動回路に関するものである。前記センサ部からの信号を、前記読み出し回路部の増幅・整形回路及び波高弁別回路に通し、デジタルパルスに変換し、前記読み出し回路部の計数回路に於いて前段から来た計数値に加えて前記デジタルパルスを計数し、次段の計数回路に送ることを特徴とするデジタルTDI用駆動回路。