高性能な3次元LSIを実現するためには、シリコン貫通ビア配線(TSV)が重要な要素技術となる。単一光子には「不可分性」と「不可識別性」といった有用な性質がある。我々は、半導体ナノ粒子を用いた簡便な単一光子源を実現した。Er2SiO5結晶はシリコンフォトニクスの発光材料として期待されている。現在、薄膜トランジスタに代表される大面積電子デバイスの高性能化には、大粒径多結晶Si薄膜の形成が必要とされている。