レゾルバ方式の位置検出機能を適切に組み合わせて異なる2方向の検出機能を実現する。【解決手段】スケール部10側に異なる2方向の位置検出を行うための固定側インダクトシン基板3,4を重畳させるなどして配置し、スケール部10側に給電するように構成した上で、検出対象に付随するスライダ部20に2方向への位置検出を行う可動側インダクトシン基板5,6を設けて位置検出を行うようにしたので、コイルパターンを小さくして分解能を容易に高めることができ、スライダ部20側も軽量にして検出対象である作動体等の負荷となることも回避して、コンパクトかつ低コストで高性能の平面位置検出機能を実現することができる。請求項1〜5何れかに記載の平面位置検出装置を備えていることを特徴とする平面モータ。従来より、この種の位置検出を行うものとして、特許文献1に示すものが知られている。このものは、レゾルバを用いてスライダの位置検出を行うべく、レゾルバのセンサ部200は、コア201と、このコア201に巻かれたコイル202で構成される。センサ部200はプラテン10上に所定の空隙を介して配置される。コア201のプラテン10との対向面には、プラテン10の歯と同じピッチPで磁極の歯が形成されている。【0003】プラテン10とコア201との間には、プラテン10の歯とコア201の歯の相対位置に応じたインピーダンスZが存在する。コイル202に励磁電圧として一定振幅の矩形電圧を入力するとコア201が励磁され、プラテン10との間に磁気回路Bが形成される。この磁気回路BはインピーダンスZにより影響を受けるため、結果としてコイル202の端子間電圧はプラテン10とコア201の相対位置に応じて正弦波状に変化する。そこで、コイル202の端子間電圧を取り出し、その振幅を検出信号とする。【0004】レゾルバは、このようなセンサ部200を2個用意し、図2に示すようにプラテン10に対する位相を90°ずらして配置して構成する。センサ部200の一方をsin相、他方をcos相とし、これらのセンサ部から得られる検出信号のアークタンジェントを取ることによって、レゾルバのプラテン10に対する位相差、すなわちプラテン10の歯に対する相対位置が求められる。プラテン10のどの歯に対する相対位置かは、検出信号が原点位置から繰り返す正弦波の山の数をカウントして求められる。これにより、原点位置を基準としてレゾルバの位置を精度よく検出できる。同文献の図12には、このような位置決め装置において、レゾルバをスライダ1のプラテン10との対向面に埋設して設けた例が示されている。1a,1bはスライダ1のプラテン10との対向面にX軸方向に形成された磁極の歯である。1c,1dはスライダ1のプラテン10との対向面にY軸方向に形成された磁極の歯である。これらの磁極の歯がプラテン10の磁極の歯とそれぞれX軸方向用およびY軸方向用の平面モータを構成している。【0006】また、上記特許文献1には、従来技術として特許文献2に示される光学式の検出装置が紹介されている。このものは、複数のスライダ部を広いプラテン上で交互に移動制御して複数工程を同一プラテン上で実行させる場合、移動範囲に著しい制約が生じてシステムの設計が困難であることに鑑み、バーミラーのサイズに制限を受けることなく、複数のスライダ部を同一プラテン上の任意位置に位置制御できるXYステージを実現するために、四辺形のプラテン上で四辺形のスライダ部を2次元方向に位置制御するXYステージにおいて、前記スライダ部の四辺の少なくとも三辺に設けられたバーミラーと、前記プラテンの四辺の少なくとも二辺に沿って固定配置され、前記バーミラーに照射したレーザビームの反射光を受光する複数個のレーザ干渉計と、を備えたXYステージが示されている。従来のレゾルバの構成では、プラテンに設けた鉄心である歯を推力と位置検出に兼用しているため、所要の推力を確保するために歯のピッチを細かくしていくと、ギャップに対する高さ方向の変動の割合が大きくなることで推力変動が大きくなり、ギャップを小さく調整したり保ったりするためには多大なコストが生じることから、結果的にプラテンのピッチを小さくすることができず、安定した大きな推力を得ることが難しいものとなっている。【0010】そして、分解能を上げるために同一方向に同じ機能を持つレゾルバを多数設ける旨の示唆がされているが、このようにすると、レゾルバの数が増大してコスト高となるばかりか、レゾルバごとにコイルを巻いて励磁電源に接続する必要があるため、スライダも一層重くなり、動きも悪くなって、モータの性能低下にもつながるものとなる。これを適用した平面モータを提供することを目的としている。本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。【0013】すなわち、本発明の平面位置検出装置は、スケール部に対し、検出対象に追従するスライダ部を対向配置して、前記スケール部及び前記スライダ部の相対的位置を電磁誘導方式により検出するインダクトシン方式のものであって、前記スケール部に、第1方向に所定ピッチで連続する励磁用コイルパターンを有する第1の固定側インダクトシン基板と、前記所定方向と異なる第2方向に所定ピッチで連続する励磁用コイルパターンを有する第2の固定側インダクトシン基板と、これらの固定側インダクトシン基板のコイルパターンに通電するための給電手段とを設けるとともに、前記スライダ部に、前記第1方向に所定ピッチで連続する検出用コイルパターンを備えて前記第1方向への位置変位を検出するための第1の可動側インダクトシン基板と、前記第2方向に所定ピッチで連続する検出用コイルパターンを備えて前記第2方向への位置変位を検出するための第2の可動側インダクトシン基板とを、少なくとも互いが独立して動ける状態で設けたことを特徴とする。【0014】ここで独立して動ける状態とは、互いの位置関係が制約されていないために、一方の可動側基板がいた場所に他方の可動側基板が移動することが可能な状態を言う。したがって、独立して動ける状態に起因して、2つの可動側基板が縦列状態や並列状態になることがあり得る。【0015】このように構成すると、インダクトシン方式であるためコイルパターンのピッチを小さくしてもギャップ変動や推力変動が問題にならず、適切な推力と分解能を両立して確保することができる。可動側のインダクトシン基板の数が増大しても大幅なコスト高や重量化を招くことを回避することができ、可動側インダクトシン基板を複数設けてもスケール側で通電するため可動側を低コストで構成できる上に、可動側の負荷を軽減して位置検出性能の低下の原因となることも有効に回避することが可能となる。インダクトシン基板が独立して動いても光学的に検出する場合のような検出上の干渉を招くことがなく、数が増える程本発明の効果は顕著なものとなる。直交方向や曲面上の交叉方向に独立して動く作動体の一方のX方向移動位置と他方のY方向位置を検出する必要があるような場合には、スライダ部を独立して動ける状態で複数設け、少なくともそれらのスライダの1つに第1の可動側インダクトシン基板を設け、他の1つに第2の可動側インダクトシン基板を設けていることが望ましい。各々の作動体が例えば別個に平面内や曲面内を自由に動く場合には、各々のスライダ部に、それぞれ第1の可動側インダクトシン基板と第2の可動側インダクトシン基板とを設けていることが望ましい。【0018】スケール側を2方向の検出機能を備えた取り扱い容易なものとするためには、第1の固定側インダクトシン基板と第2の固定側インダクトシン基板とをスケール部に一体的に積層して構成していることが好適である。検出の適正化を図るためには、第1の固定側インダクトシン基板と第1の可動側インダクトシン基板の間のギャップと、第2の固定側インダクトシン基板と第2の可動側インダクトシン基板の間のギャップとを一致させていることが望ましい。以上のような平面位置検出装置を備えて平面モータを構成すれば、検出対象である作動体の負荷軽減を通じてモータ性能を有効に向上させることができる。本発明の平面位置検出装置は、以上説明したように、スケール部側に異なる2方向の位置検出を行うための固定側インダクトシン基板を重畳させるなどして配置し、スケール部側に給電するように構成した上で、検出対象に付随するスライダ部に前記2方向への位置検出を行う可動側インダクトシン基板を設けて位置検出を行うようにしたものであり、コイルパターンを自由に小さくでき、またプラテンの歯を位置検出に兼用していないために歯のピッチを小さくする必要がなく、推力が損なわれることや推力が変動することも回避できるとともに、スライダ部側も軽量にして検出対象である作動体等の負荷となることも回避して、コンパクトかつ低コストで高性能の平面位置検出機能を実現することが可能となる。【図1】本発明の一実施形態に係る平面位置検出装置を適用した平面モータの模式的な斜視図。【図2】平面モータの一部を模式的に示す部分断面図。構成するスケール部の第1の固定側インダクトシン基板を模式的に示す平面図。構成するスケール部の第2の固定側インダクトシン基板を模式的に示す平面図。構成するスケール部の第1の固定側インダクトシン基板と第2の固定側インダクトシン基板を重ね合わせた状態を模式的に示す平面図。構成するスケール部の固定側インダクトシン基板とスライド部の可動側インダクトシン基板の高さ方向の関係を模式的に示す模式的な断面図。【図7】電磁誘導方式の位置検出装置の検出原理を説明するための図。【図8】電磁誘導方式の位置検出装置の検出原理を説明するための図。収集に関しては慎重に行っておりますが、もし掲載内容に関し異議がございましたらお問い合わせください、速やかに情報を削除させていただきます。