XS-1(エクセス・ワン)」をリリース致します。SiCウェーハ等の内部に存在する結晶欠陥や内部歪みを高感度かつリアルタイムに可視化する装置です。ビジョンサイテック社独自の光学理論と位相差演算処理により、わずかな位相差を捉えることで、様々な結晶欠陥を可視化します。従来、可視光での光学顕微鏡観察では不可能と考えられていましたが、XS-1は、X線トポグラフィーに匹敵する結晶転位検出能力を誇ります。2016/05/17ビジョンサイテック社検査装置Micro-MAXの取扱いを開始致しました。Mipoxではビジョンサイテック社検査装置Micro-MAXの取扱いを開始致しました。超精密加工(製造)工程を中心に、幅広い用途に適用可能な欠陥検査(観察)装置です。独自の光学照明システムにより、平面上の微細な異常を増幅・強調させ、超高精度の表示分解能とマクロ視野で超微細な欠陥等を可視化します。一般的に、レーザー・SEM・AFM等のピンスポット検査による数値出力データやマップは、観察対象物全体のプロファイルを把握することは困難ですが、Micro-MAXは広い視野を有し、タイムリーにモニタリングすることが出来るため、効率良く短時間で要望の観察作業を済ませることが可能です。製造ラインにおける不具合原因の特定や、その解決へのスピードアップに寄与し、歩留まり改善等に貢献致します。実機でのデモンストレーション・受託測定も立川本社にて受付しておりますので、是非お問い合わせ下さい。