Jotakiマスクレスリソグラフィセミナー&ワークショップを開催いたします。近年、プロセスにマスクを必要としない事で高い経済性と開発サイクルの速さを特徴とするマスクレス露光技術は急速に進化しており、高い汎用性・品質・スループット・可能描画エリアの大きさが延びてきている事から様々な分野から注目され、研究開発の分野だけでなく生産での採用事例も増えてきました。今回のセミナーでは、弊社のマスクレスアライナーの他、描画データシュミレーションソフト、フォトレジスト等の関連技術のプレゼンテーションが用意されております。GmbHは、この度、卓上マスクレスアライナー「μMLA」をリリースしました。630mm×770mmとデスクトップサイズのフットプリントながら最小線幅0.6μmとサブミクロンの描画が可能なマスクレス露光装置です。超微細加工リソグラフィー・ナノ計測拠点様の多大なご協力を得て、セミナーを開催させていただくことになりました。近年、レーザー・リソグラフィーによる3D描画技術の研究開発は急速に進化しており、高い汎用性、品質、スループット、可能描画エリアの大きさで、様々な分野から注目されてきました。今回のセミナーでは、各分野で研究開発を進めるメーカー様からの直近の情報のプレゼンテーションが用意されております。Jotakiこの度、京都大学ナノテクノロジーハブ拠点様の多大なご協力を得て、セミナー&ワークショップを開催させていただくことになりました。近年、レーザー・リソグラフィーによる3D描画技術の研究開発は急速に進化しており、高い汎用性、品質、スループット、可能描画エリアの大きさで、様々な分野から注目されてきました。Jotakiハイデルベルグ・インストルメンツは以下の学会・展示会に出展予定です。