ExhibitorsイーヴィグループジャパンMEMS事業への取り組みイーヴィグループ(EVG)は、半導体、MEMS、ナノテクノロジー等のアプリケーション向けウェーハプロセス装置のグローバルサプライヤーです。ウェーハボンダーにおける圧倒的なシェアを誇るEVGは、MEMS、ナノインプリント、先端パッケージング市場でリーダーの地位を確立しており、常に新しい技術を目指して研究開発に力を入れております。MEMS分野においては、通常の半導体プロセス技術に加え、MEMS特有の両面リソグラフィー、位置合わせウェーハ接合、高段差面へのレジストプロセスなど、高度な製造技術が要求されます。EVGは、MEMS製造に必要な、ユニークかつ幅広い装置ソリューションを提供しています。これらには、レジスト塗布装置、片面あるいは両面アライメントが可能な露光装置、レジスト現像装置、位置合わせウェーハ接合装置を含みます。両面露光用マスクアライナーは、MEMS用途でEVGが1985年に世界に先駆けて開発し、製品化しました。EVGは、MEMS市場において初期の段階から製造装置とプロセスノウハウを提供して来ており、これにより現在のリーディングサプライヤーとしての地位を築いて参りました。Implement)により、今後もMEMSのお客様に最先端MEMSソリューションを継続して提供していきます。集積マイクロシステム研究グループ広報担当。Journal」の記者。フリーランスのジャーナリストとして、各種調査、イベント企画、コンサルティングなどの領域で活動中。日本国内への配送に適用されます。編集トップへ戻る閉じる。