真空貼り合わせ装置VAP250弊社の真空貼り合わせ装置「VAP250」について画像を使ってご案内したいと思います。今回も営業の方に聞いてきました。真空貼り合わせ装置とは、文字通り、二つの物質の間を真空にして接着させる・・・のではなく、接着剤の中の空気を抜いてより薄くより均一に接着するための装置です。「薄いウエハをベースプレートにこの装置を使って貼り合わせることで、ウエハの反りを矯正し、接着剤(ワックス)のムラもなくなるので、極薄で高精度の研磨加工が可能になる」とのことです。社内にある装置を使って、セラミックのベースにウエハを接着させる様子を再現してみました。セラミックのプレートとウエハ装置の外観です。事務机に乗る大きさです。ここにプレートをセットし、圧力と熱をかけながら真空引きします。プレートがセットされた状態ワックス接着剤を塗り、ウエハをセットします(外側は補助プレート)タッチパネル式の画面で操作します。高温になりますので、温度が十分に下がったところで接着完了。(加工時間はこの場合、加熱10分、加圧・真空引き分:10分、冷却10分程度です)高精度で貼り付けられることで、より精度の高い研磨が可能になります。そのほかにも貼り合わせ装置(ボンディング装置)についてご質問・要望等ありましたら、お気軽にお問い合わせください。ラッピングポリッシング装置「TR06M」。最近、お問い合わせをいただくことの多い小型の卓上研磨装置です。大学の研究室や企業の研究開発部門などで、試料の研磨や実験などの用途としてニーズがあります。これまで経験のない素材の研磨であるとか、実験のため何種類か研磨方法を試したいとか、高精度でごく少量を研磨したいとか、そのような場合に役立てていただいているようです。従来のものより小型のため、置き場所も取りません(装置本体サイズ350mm×220mm)。言え、重量は20kgほどありますので、男性でも持ち上げることはできても移動するのは・・・。最大直径約50mmのものまで研磨できます。素材は特に問いません。樹脂、金属、ガラス、シリコンウエハなどなど、あらゆる素材に適応します。AC100Vのみで動作します。基本スペックは、TR06Mのページをご覧ください。テクノライズ株式会社では、ほかにも様々な用途にあわせた研磨装置がございます。詳細は、メールまたはお電話でお問い合わせください。画像は卓上研磨装置です。「研磨に使ったスラリー(研磨剤)は、使用後どのように処理されるの?」とのご質問をよく受けるので、ちょっと装置の裏側の写真を載せてみました。裏側にあるパイプから、使用後の研磨剤(廃液)が出てきます。この装置の場合、標準装備で写真のような塩ビ製のボックス内に溜まる仕組みです。パイプを延長して、別タンクに溜めていただいても構いません。廃棄は、専門の引き取り業者がおりますのでそちらに依頼してください。背面タンクの隣にあるコンセントは、スラリー供給用に最適化されたもので、タイマーと連動しているものと、主電源と連動しているものの2種類が装備されてます。