图7为此时的图3的AA′截面的示意图。图9为此时的图3的AA′截面的示意图。41的情况下,首先使细缝喷嘴41位于待机位置。41的内部、集管45中。45.如已说明的那样,在细缝喷嘴41中,缝隙41a(在图6中用斜线示出)形成于集管45的下方。41下端的细缝41b流出极少量,滴下到待机罐PT中,或附着于细缝41b的附近,但当大致充满缝隙41a时,如图6的箭头AR2和图7的箭头AR3所示,抗蚀剂液(在图6和图7中涂黑的部分)的液面上升,依次充满集管45、排气孔47、及排气路径L2(图3)。47和排气路径L2排气。AR4和箭头AR5那样依次排出。95和控制系统6的作用实现。