45中,空气聚集部P1也没有形成。在排气动作中,再次使排气阀V1为“开”状态,而且与上述同样,从抗蚀剂液供给源91供给抗蚀剂液。90输送到台3的规定位置,吸附保持在保持面30上。30.另外,通过喷嘴清洗机构7清洗细缝喷嘴41前端的细缝41b的附近。行进机构5使架桥结构4移动,从而将细缝喷嘴41返回到待机位置。46a和46b供给抗蚀剂液,同时进行涂敷处理,所以,在集管45中抗蚀剂流量(或动压力分布)均匀化。41a来到外部的情形。46a、46b,同时使集管45侧的端部47a位于比该供给口46a、46b高的位置。