V2、供给泵92、阀V3、压力计93。91中的抗蚀剂液R而定量地送液。另外,在分支供给路径L1a和L1b分别具有阀V4和阀V5。在排气路径L2的中途具有排气阀V1。另外,设置细缝喷嘴41与排气阀V1之间的传感部94。图5A~图5C为说明传感部94的视图。优选在排气路径L2的从细缝喷嘴41到传感部94之间,设置配管96,使得配管96的顶点部分(U字形的底部部分)96a处于最高位置。因此,配管96的顶点部分96a光学透明,与该顶点部分96a相对的部分96b反射光束。