300mmのウエハを収容する第1カセットに対応のキャリアベースにカセットアダプタを取付けて、直径200mmのウエハを収容する第2カセットの正しい位置への着座を検出する着座センサ機構を提供する。【解決手段】300mmのウエハを収容可能なロードポートPのキャリアベース5に装着する200mmのウエハを収容可能な第2カセットK2を設置するカセットアダプタであって、アダプタ本体DのアダプタプレートEの裏面には、該アダプタ本体Dがカセット受台Bの傾斜配置位置から(90°−θ)だけ回動されて該アダプタプレートEを水平配置させるストッパボルト33と、前記アダプタプレートEの水平配置を検出するセンサ作動ボルト34が取付けられ、前記アダプタプレートEの上面には、第1カセット用着座センサS1を除き残りを無効にした状態で、第2カセットK2の正しい位置への着座を検出する第2カセット用着座センサを設ける。前記アダプタプレートの上面には、前記複数の第1カセット用着座センサのうち前記センサ作動部材により作動される特定の第1カセット用着座センサを除く残りの第1カセット用着座センサを無効にした状態で、前記アダプタプレートの上面に第2カセットがセットされて正しい位置に着座されたことを検出する複数の第2カセット用着座センサが設けられていることを特徴とするカセットアダプタの着座センサ機構。前記複数の第1カセット用着座センサのうち前記センサ作動部材により作動される特定の第1カセット用着座センサは、アダプタ本体の回動軸から最も離れた位置に配置されたものであることを特徴とする請求項1に記載のカセットアダプタの着座センサ機構。前記ストッパ部材は、前記アダプタ本体の回動軸から最も離れた位置に当該回動軸の軸心方向に沿って一対配置されていることを特徴とする請求項1に記載のカセットアダプタの着座センサ機構。請求項1ないし3のいずれかの着座センサ機構を備えていることを特徴とするカセットアダプタ。本発明は、300mmのウエハを収容する第1カセットに対応のロードポートを使用して、200mmのウエハを収容する第2カセットをセット可能にするためにキャリアベースに固定されるカセットアダプタにおいて、当該アダプタに対して第2カセットが正しい位置に着座されたことを検出するカセットアダプタ、及び着座センサ機構に関するものである。0002】300mmのウエハの処理を主体にした処理装置においては、当該処理装置に対してウエハの搬入・搬出を行うために、多数枚のウエハを収容した第1カセットを設置するためのロードポートが、前記処理装置の外側におけるウエハの搬入・搬出を行う各部分にそれぞれ取付けられている。【0003】このように、300mmのウエハの処理を主体にした処理装置において、200mmのウエハの処理を行う必要が生ずることがある。このような場合に、処理装置の外側に設置した各ロードポート自体を、200mmのウエハを収容する第2カセットに対応したロードポートに変更すれば問題はない。この方法では、300mmのウエハに比較して使用頻度の少ない200mmのウエハの処理のために、第2カセットに対応した専用のロードポートを多数製作・準備しておいて、ロードポート自体を取り替える必要がある。上記の方法では、使用頻度の少ない第2カセット専用のロードポートの製作のみならず、ロードポートの取り替えのための作業をも必要とし、極めて不経済であると共に、ロードポートの交換のために、ウエハの処理能率も低下する。【0005】そこで、本発明者は、300mmのウエハを収容可能な第1カセットに対応のロードポートに対して200mmのウエハを収容する第2カセットを設置可能にするためのカセットアダプタを使用する着想を得た。この着想の下では、300mmのウエハを収容する第1カセットのロードポートのキャリアベースに対して前記カセットアダプタがしっかりと固定され、しかも第2カセット全体が前記キャリアベースに対して固定されたカセットカバー内に収容されて、当該カセットカバーの手前側の開口は、前記カセットアダプタを構成するプレート体で覆われている。このためには、ロードポート側を大きく改造することなく、前記カセットアダプタを構成しているアダプタベースに対して回動軸を中心に回動可能に支持されたアダプタ本体の配置位置、及び当該アダプタ本体に対する第2カセットの着座位置の双方を検出するための着座センサ機構が不可欠となる。Pod)と称され、200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットは、オープンカセットと称されている。本発明は、300mmのウエハを収容する第1カセットに対応のロードポートのキャリアベースにカセットアダプタを取付けて、前記ロードポートに200mmのウエハを収容する第2カセットを設置する際に、当該第2カセットが正しい位置に着座されたことを検出する着座センサ機構の提供を課題としている。上記課題を解決するための請求項1の発明は、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットを設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるためのキャリアベースと、当該キャリアベースに対して第1カセットが正しい位置に着座されたことを検出する複数の第1カセット用着座センサとを備えたロードポートの前記キャリアベースに装着されて、200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置するためのカセットアダプタであって、前記カセットアダプタは、前記キャリアベースに固定されるアダプタベースと、二枚のプレート体が側面視でL字状となるように直交して一体化されて、当該アダプタベースに対して水平配置された回動軸を中心にして(90°−θ)の角度で回動可能に支持されるアダプタ本体とから成り、前記アダプタ本体は、前記回動軸心の側が低くなるように、水平面に対して僅かの角度(θ)だけ傾斜配置された状態で、前記ロードポートのカセットテーブルに対する第2カセットの設置及び取出しの双方が可能であるカセット受台と、傾斜姿勢から水平姿勢への移行により、前記カセット受台で支持されていた第2カセットの姿勢をほぼ反転させて、前記処理装置との間で第2ウエハの搬入・搬出が可能な姿勢で、当該第2カセットを載置可能なアダプタプレートとから成り、前記アダプタ本体のアダプタプレートの裏面には、当該アダプタ本体がカセット受台の傾斜配置位置から(90°−θ)だけ回動されて当該アダプタプレートを水平配置させるためのストッパ部材と、前記キャリアベースに設けられた複数の第1カセット用着座センサのうち特定の一つを作動させて、当該アダプタプレートが水平配置されたことを検出するセンサ作動部材とがそれぞれ取付けられ、前記アダプタプレートの上面には、前記複数の第1カセット用着座センサのうち前記センサ作動部材により作動される特定の第1カセット用着座センサを除く残りの第1カセット用着座センサを無効にした状態で、前記アダプタプレートの上面に第2カセットがセットされて正しい位置に着座されたことを検出する複数の第2カセット用着座センサが設けられていることを特徴としている。請求項1の発明では、ロードポートのキャリアベースに設けられた複数の第1カセット用着座センサのうち前記センサ作動部材により作動される特定の第1カセット用着座センサのみを有効にしておいて、他の全ての第1カセット用着座センサを無効にしておいて、アダプタ本体を構成するカセット受台が、回動軸の側が低くなるようにして、水平面に対して僅かな角度(θ)だけ傾斜した状態で、第2ウエハがほぼ垂直に収容された第1カセットを前記カセット受台に位置決めした状態で載せる。この状態で、アダプタ本体を(90°−θ)だけ回動させて傾転させると、当該アダプタ本体を構成するアダプタプレートの裏面側に取付けられたストッパ部材がアダプタベースに当接して、カセット受台に載せられていた第2カセットは、ほぼ反転されて水平配置されたアダプタプレートに載せ替えられる。水平配置されたアダプタプレートに設けられた複数の第2カセット用着座センサの全てが第2カセットによりONになると、当該アダプタプレートの正しい位置に第2カセットが正しい姿勢で着座されたことが検出される。ロードポートのキャリアベースに設けられた複数の第1カセット用着座センサのうち有効となっている特定の第1カセット用着座センサが、アダプタプレートの裏面に取付けられているセンサ作動部材により作動されてONとなると、当該アダプタプレートが水平に配置されていることが検出される。これにより、水平配置されたアダプタプレートの上面に、第2カセットが正しい位置に正しい姿勢で着座されたことが検出されて、恰も、キャリアベースにカセットアダプタを介して第2カセットが正しい位置に着座されたことが検出されるのと同様となる。【0012】また、請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記複数の第1カセット用着座センサのうち前記センサ作動部材により作動される特定の第1カセット用着座センサは、アダプタ本体の回動軸から最も離れた位置に配置されたものであることを特徴としている。請求項2の発明によれば、第2ウエハをほぼ垂直にして収容された第2カセットを載せた状態で、アダプタ本体を(90°−θ)だけ回動させて、当該アダプタ本体を構成するアダプタプレートを水平配置させる際に、当該アダプタプレートの水平配置の精度が高められる。【0014】また、請求項3の発明は、請求項1の発明において、前記ストッパ部材は、前記アダプタ本体の回動軸から最も離れた位置に当該回動軸の軸心方向に沿って一対配置されていることを特徴としている。請求項3の発明によれば、アダプタ本体を(90°−θ)だけ回動させて、当該アダプタ本体を構成するアダプタプレートを水平配置させる際に、当該アダプタプレートの水平配置の状態を安定させられる。請求項4の発明は、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットを設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させるためのキャリアベースと、当該キャリアベースに対して第1カセットが正しい位置に着座されたことを検出する複数の第1カセット用着座センサとを備えたロードポートの前記キャリアベースに装着されて、200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置するためのカセットアダプタであって、請求項1ないし3のいずれかの着座センサ機構を備えていることを特徴としており、それぞれ請求項1ないし3に記載の各発明の作用効果が奏される。本発明によれば、200mmのウエハを収容する第2カセットを設置可能にするためのカセットアダプタを、300mmのウエハを収容する第1カセットに対応のロードポートのキャリアベースに装着することにより、第2カセットが前記カセットアダプタの正しい着座位置に配置されたことを高精度で検出して、第1カセット用のロードポートを用いて、処理装置に対する第2カセットに収容された第2ウエハの搬入・搬出を行える。【図1】ロードポートPのカセットテーブル4のキャリアベース5に対するカセットアダプタAの固定位置の関係を示す斜視図である。【図2】キャリアベース5にカセットアダプタAが固定された状態の斜視図である。【図3】カセットアダプタAの斜視図である。【図4】カセットアダプタAとカセットカバーCとの分離状態の斜視図である。【図5】異なる方向から見たカセットアダプタAとカセットカバーCとの分離状態の斜視図である。受ける状態の斜視図である。【図7】同様の側面図である。受けた状態で、アダプタ本体Dを(90°−θ)だけ回動させて、アダプタベースV上にアダプタ本体Dを配置した状態の側面断面図である。【図9】同様の状態において、キャリアベース5に対してアダプタ本体Dがロックされた状態を主体に示す側面断面図である。有効・無効の状態を示す図である。【図11】(a)は、ロック時及び非ロック時におけるロック用エアシリンダ14のロック爪12と、アダプタプレートEの裏面に取付けられた被ロック部材35との関係を示す平面図であり、(b)は、同じく側面断面図である。下側から見た斜視図である。被位置決め部となる各リブの関係を示す図である。異なる部分の断面図である。※以下のタグをホームページ中に張り付けると便利です。収集に関しては慎重に行っておりますが、もし掲載内容に関し異議がございましたらお問い合わせください、速やかに情報を削除させていただきます。