300mmのウエハを収容する第1カセットに対応のロードポートを使用して、200mmのウエハを収容する第2カセットを設置してロック可能にするアダプタ本体ロック装置を提供する。【解決手段】300mmのウエハを収容する第1カセットをキャリアベース5にロックするロック用エアシリンダ14を備えたロードポートPに、200mmのウエハを収容する第2カセットK2を設置してロック可能にするために、キャリアベース5に取付けられるカセットアダプタは、キャリアベース5にセットされるアダプタベースVと、アダプタベースVを介して回動可能に装着されるL字形のアダプタ本体Dとから成り、アダプタ本体Dを構成するアダプタプレートEの裏面に、ロック用エアシリンダ14のロッド13の先端のロック爪12に対して解除可能に係合されて、キャリアベース5にアダプタ本体Dを固定可能とする被ロック部材35を一体に設ける。前記ロック部材と前記被ロック部材とが係合した状態では、前記アダプタベースに固定されたカセットカバー内に前記第2カセットが収容された状態で、当該カセットカバーの手前側の開口を開口閉塞カバーのようにして覆っている前記カセット受台が開かないようにロックされる構成であることを特徴とするカセットアダプタのアダプタ本体ロック装置。前記ロック部材は、先端にロック爪が設けられて、シリンダに対して出入りしながら回動を行うロッドを備えたエアシリンダで構成され、前記アダプタプレートの裏面に設けられた前記被ロック部材は、当該アダプタプレートが水平配置された状態で、前記キャリアベースにセットされた第1カセットの被ロック部と同一位置に配置される被ロック部を備え、前記エアシリンダのロッドの先端のロック爪と、前記被ロック部材の被ロック部とが係合する構成であることを特徴とする請求項1に記載のカセットアダプタのアダプタ本体ロック装置。【請求項3】ロック部材である前記エアシリンダのロッドは、垂直線に対して傾斜した方向に出入りすることを特徴とする請求項2に記載のカセットアダプタのアダプタ本体ロック装置。前記カセット受台は、透明体で構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のカセットアダプタのアダプタ本体ロック装置。請求項1ないし4のいずれかに記載のアダプタ本体ロック装置を備えていることを特徴とするカセットアダプタ。本発明は、300mmのウエハを収容する第1カセットに対応のロードポートを使用して、200mmのウエハを収容する第2カセットを設置可能にするためのカセットアダプタをキャリアベースに固定することにより、当該カセットアダプタにセットされた第2カセットがカセットカバーにより覆われた状態において、前記カセットアダプタを構成していて、当該カセットカバーの手前側の開口を閉塞するプレート体が開かないように同時にロック可能にするカセットアダプタ、及びアダプタ本体ロック装置に関するものである。0002】300mmのウエハの処理を主体にした処理装置においては、当該処理装置に対してウエハの搬入・搬出を行うために、多数枚のウエハを収容した第1カセットを設置するためのロードポートが、前記処理装置の外側におけるウエハの搬入・搬出を行う各部分にそれぞれ取付けられている。【0003】このように、300mmのウエハの処理を主体にした処理装置において、200mmのウエハの処理を行う必要が生ずることがある。このような場合に、処理装置の外側に設置した各ロードポート自体を、200mmのウエハを収容する第2カセットに対応したロードポートに変更すれば問題はない。この方法では、300mmのウエハに比較して使用頻度の少ない200mmのウエハの処理のために、第2カセットに対応した専用のロードポートを多数製作・準備しておいて、ロードポート自体を取り替える必要がある。上記の方法では、使用頻度の少ない第2カセット専用のロードポートの製作のみならず、ロードポートの取り替えのための作業をも必要とし、極めて不経済であると共に、ロードポートの交換のために、ウエハの処理能率も低下する。【0005】そこで、本発明者は、300mmのウエハを収容可能な第1カセットに対応のロードポートに対して200mmのウエハを収容する第2カセットを設置可能にするためのカセットアダプタを使用する着想を得た。この着想の下では、300mmのウエハを収容する第1カセットのロードポートのキャリアベースに対して前記カセットアダプタがしっかりと固定され、しかも第2カセット全体が前記キャリアベースに対して固定されたカセットカバー内に収容されて、当該カセットカバーの手前側の開口は、前記カセットアダプタを構成するプレート体で覆われている。このため、処理装置に対してウエハの搬入・搬出を行っている動作中において、第2カセットを収容しているカセットカバーの手前側の開口を閉塞している前記プレート体を含めてカセットアダプタの全体をキャリアベースに対してロックする必要がある。Pod)と称され、200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットは、オープンカセットと称されている。本発明は、300mmのウエハを収容する第1カセットに対応のロードポートを使用して、200mmのウエハを収容する第2カセットを設置可能にするためのカセットアダプタをキャリアベースに固定することにより、当該カセットアダプタにセットされた第2カセットがカセットカバーにより覆われた状態において、前記カセットアダプタを構成していて、当該カセットカバーの手前側の開口を閉塞するプレート体が開かないように同時にロック可能にすることを課題としている。上記課題を解決するための請求項1の発明は、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットを設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させると共に、前記第1カセットの裏面部に設けられた被ロック部に対して解除可能に係合して、キャリアベースに対して前記第1カセットをロックするロック部材を備えたロードポートの前記キャリアベースに装着されて、200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置可能とするためのカセットアダプタであって、前記カセットアダプタは、前記キャリアベースに固定されるアダプタベースと、二枚のプレート体が側面視でL字状となるように直交して一体化されて、当該アダプタベースに対して水平配置された回動軸を中心にして(90°−θ)の角度で回動可能に支持されるアダプタ本体とから成り、前記アダプタ本体は、前記回動軸心の側が低くなるように、水平面に対して僅かの角度(θ)だけ傾斜配置された状態で、前記ロードポートのカセットテーブルに対する第2カセットの設置及び取出しの双方が可能であるカセット受台と、傾斜姿勢から水平姿勢への移行により、前記カセット受台で支持されていた第2カセットの姿勢をほぼ反転させて、前記処理装置との間で第2ウエハの搬入・搬出が可能な姿勢で、当該第2カセットを載置可能なアダプタプレートとから成り、前記アダプタプレートの裏面には、当該アダプタプレートが水平配置された状態で、前記アダプタベースの下方に配置された前記ロック部材に対して解除可能に係合されて、前記キャリアベースに対して前記アダプタ本体を固定可能とする被ロック部材が一体に設けられて、前記ロック部材と前記被ロック部材とが係合した状態では、前記アダプタベースに固定されたカセットカバー内に前記第2カセットが収容された状態で、当該カセットカバーの手前側の開口を開口閉塞カバーのようにして覆っている前記カセット受台が開かないようにロックされる構成であることを特徴としている。請求項1の発明によれば、300mmの第1ウエハを収容する第1カセットをセットして、処理装置に対して第1ウエハの搬入・搬出を行うロードポートのキャリアベースにカセットアダプタがロックされる。カセット本体は、カセット受台とアダプタプレートとの二枚のプレート体が側面視でL字状となるように直交して一体化されたアダプタ本体がアダプタベースに対して水平な回動軸を介して(90°−θ)の角度で回動可能に支持された構成であって、前記アダプタプレートの下面に一体に設けられた被ロック部材は、第1カセット用の前記ロードポートのカセットテーブルのキャリアベースに設けられたロック部材に対してロックされて、当該アダプタプレートは、前記キャリアベースの上方に水平配置された状態で回動しないように固定される。キャリアベースに固定されたアダプタベースには、200mmの第2ウエハを収容する第2カセットを覆うためのカセットカバーが取付けられていて、当該カセットカバーは、回動によりアダプタ本体の全体を収容可能にすると共に、処理装置に対するウエハの搬入・搬出を可能にするために、手前側及び奥側が開口されている。【0011】カセットアダプタが手前側に倒されて、カセットカバーの手前側の開口から当該カセット受台が飛び出て、回動軸の側が僅かに低くなるように水平線に対して角度(θ)だけ傾斜した状態で、収容された第2ウエハがほぼ垂直の状態で第2カセットが前記カセット受台に位置決めしてセットされる。当該カセット受台は、アダプタプレートの側が僅かに低くなるように傾斜配置されているので、当該カセット受台に位置決めされてセットされた第2カセットにおける第2ウエハの搬入・搬出時に底面となる面は、前記アダプタプレートに当接して、当該アダプタプレートに対しても位置決めされる。換言すると、水平面に対して僅かに傾斜配置されたカセット受台に対して第2カセットをセットすると、当該第2カセットは、当該カセット受台、及びアダプタプレートの双方に位置決めされる。その後に、手動操作によりカセットアダプタを(90°−θ)だけ回動させて、アダプタプレートを水平に配置させると共に、カセット受台を垂直に配置させると、当該第2カセットの全体は、アダプタベースに取付けられたカセットカバー内に収容されて、当該カセットカバーの手前側の開口は、カセットアダプタを構成するカセット受台により覆われる。【0012】アダプタ本体が(90°−θ)だけ処理装置の側に向けて回動させることにより、アダプタ本体のアダプタプレートは、カセットカバー内に全体が収容されて、キャリアベースの上方に水平に配置される。この状態で、上記したように、当該アダプタプレートの裏面に固定された被ロック部材は、第1カセット用の前記ロードポートのカセットテーブルのキャリアベースに設けられたロック部材に対してロックされて、当該アダプタプレートは、前記キャリアベースの上方に回動しないように固定配置される。アダプタ本体の全体がキャリアベースに対して回動しないように固定配置される。この結果、第2カセットの全体を収容しているカセットカバーの手前側の開口を覆っているカセット受台は、当該カセットカバーの手前側の開口を覆った垂直姿勢を維持したまま固定配置されて、手前側に回動されて、前記カセットカバーの手前側の開口が開かれることはない。第1カセットをロードポートのキャリアベースに固定するためのロック部材をそのまま使用して、当該ロードポートに対して第2カセットをセット可能とするカセットアダプタを前記キャリアベースに固定できる。【0013】また、請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記ロック部材は、先端にロック爪が設けられて、シリンダに対して出入りしながら回動を行うロッドを備えたエアシリンダで構成され、前記アダプタプレートの裏面に設けられた前記被ロック部材は、当該アダプタプレートが水平配置された状態で、前記キャリアベースにセットされた第1カセットの被ロック部と同一位置に配置される被ロック部を備え、前記エアシリンダのロッドの先端のロック爪と、前記被ロック部材の被ロック部とが係合する構成であることを特徴としている。請求項2の発明によれば、カセットアダプタのアダプタ本体を構成するアダプタプレートの裏面に、第1カセットに設けられた被ロック部と同一構成の被ロック部を一体に設けることにより、エアシリンダで構成されたロック部材のロッドが出入りしながら回動して、当該ロッドの先端に一体に取付けたロック爪と、アダプタプレートの裏面に一体に取付けた被ロック部とが係合されて、第1カセットのロードポートのキャリアベースに対してカセットアダプタを固定配置できる。【0015】また、請求項3の発明は、請求項2の発明において、ロック部材である前記エアシリンダのロッドは、垂直線に対して傾斜した方向に出入りすることを特徴としている。請求項3の発明によれば、300mmの第1ウエハを収容する第1カセットをロック用のエアシリンダによりロードポートのキャリアベースに対してロックする際に、当該エアシリンダのロッドの全体の必要可動長を確保したうえで、上下方向に沿った必要可動長を短くできるので、第1カセットの底面との干渉を回避して、当該第1カセットをキャリアベースにロックできる。【0017】また、請求項4の発明は、請求項1ないし3のいずれかの発明において、前記カセット受台は、透明体で構成されていることを特徴としている。請求項4の発明によれば、第2カセットの全体がカセットカバー内に収容されて、当該カセットカバーの手前側の開口が、アダプタ本体のカセット受台により覆われている状態、即ち、処理装置内に配置されたロボットのハンドにより、第2カセットに収容された第2ウエハが当該処理装置に搬入されたり、処理済の第2ウエハが当該第2カセットに搬入される状態を透明なカセット受台を通して視認可能となる。この結果、ロボットのハンドによる第2ウエハの搬入・搬出時において不具合が発生した場合には、当該不具合を即座に検出できる。請求項5の発明は、300mmの第1ウエハを収容可能な第1カセットを設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させると共に、前記第1カセットの裏面部に設けられた被ロック部に対して解除可能に係合して、キャリアベースに対して前記第1カセットをロックするロック部材を備えたロードポートの前記キャリアベースに装着されて、200mmの第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置可能とするためのカセットアダプタであって、請求項1ないし4のいずれかに記載のアダプタ本体ロック装置を備えていることを特徴としており、それぞれ請求項1ないし4に記載の各発明と同一の作用効果が奏される。本発明によれば、300mmのウエハを収容する第1カセットに対応のロードポートを使用して、200mmのウエハを収容する第2カセットを設置可能にするためのカセットアダプタをキャリアベースに固定することにより、当該カセットアダプタにセットされた第2カセットがカセットカバーにより覆われた状態において、前記カセットアダプタを構成していて、当該カセットカバーの手前側の開口を閉塞するプレート体が開かないように同時にロックすることができる。このため、第2カセットと処理装置との間で第2ウエハを搬入・搬出している作業中において、第2カセットが人手等により設定位置から移動される等の不具合を未然に防止できる。【図1】ロードポートPのカセットテーブル4のキャリアベース5に対するカセットアダプタAの固定位置の関係を示す斜視図である。【図2】キャリアベース5にカセットアダプタAが固定された状態の斜視図である。【図3】カセットアダプタAの斜視図である。【図4】カセットアダプタAとカセットカバーCとの分離状態の斜視図である。【図5】異なる方向から見たカセットアダプタAとカセットカバーCとの分離状態の斜視図である。受ける状態の斜視図である。【図7】同様の側面図である。受けた状態で、アダプタ本体Dを(90°−θ)だけ回動させて、アダプタベースV上にアダプタ本体Dを配置した状態の側面断面図である。【図9】同様の状態において、キャリアベース5に対してアダプタ本体Dがロックされた状態を主体に示す側面断面図である。【図10】(a)は、ロック時及び非ロック時におけるロック用エアシリンダ14のロック爪12と、アダプタプレートEの裏面に取付けられた被ロック部材35との関係を示す平面図であり、(b)は、同じく側面断面図である。下側から見た斜視図である。被位置決め部となる各リブの関係を示す図である。異なる部分の断面図である。※以下のタグをホームページ中に張り付けると便利です。収集に関しては慎重に行っておりますが、もし掲載内容に関し異議がございましたらお問い合わせください、速やかに情報を削除させていただきます。