マルチワイヤソーマルチワイヤソーについてΦ0.14mm~Φ0.18mmの極細ワイヤにより、材料損失を極限まで抑えた切断機。Φ0.14mm~Φ0.18mmの極細ワイヤを、3本のメインロールに一定ピッチで巻きつけ、往復走行をさせながら、切断部に研磨材と油を混合した遊離砥粒を供給して、切断を行います。最大でΦ530mm(□400mm)×300mmまでのワークが投入可能です。遊離砥粒によるラッピング切断方式のため、ワークに与えるダメージが少なく、良好な切断面が得られます。Φ0.14mm~Φ0.18mmの極細ワイヤを使用しているため、切断による材料ロスを極限まで抑えることができます。ワイヤが高速走行するため、切断速度が速く、さらに一度に大量の加工ができるマルチ切断方式なので、量産加工に適しています。最大で1250mm×1000mm×1050mmの大型ワークを、高速・高精度に切断。遊離砥粒を使用し、ワークへの加工ダメージを最小限に抑えた切断機。Φ0.14mm~Φ0.18mmの極細ワイヤにより、材料損失を極限まで抑えた切断機。ウェハのダイシング加工や溝入れ加工、パターン切断に最適。フジセイコーの加工技術1250mm×1000mm×1050mmの大型ワークから微小ワークまで幅広く対応。対象ワークの平行度や平坦度を、ミクロン単位で向上。くり貫きなどの形状に対応。微小サイズ~大口径品(ガラスΦ1600、シリコンΦ600まで)の鏡面研磨が可能。