[0001]【産業上の利用分野】本発明は、通電によって発生する熱エネルギーによりインクを発泡吐出させるインクジェット(以下、単にインクジェットという)方式において、全体の消費電力や配線での電力ロスが少なく、入力信号に対する応答性に優れた記録方法に関する。[0002]【従来の技術】上記インクジェット方式は、高速密度印字が可能で、かつカラー化、コンパクト化に適しており、近年とみに注目を集めている。この方式においては、記録用液体(即ちインクなど)を熱エネルギーの利用で吐出させるため、熱を液体に作用させる熱作用部が存在する。この熱作用部は、従来のいわゆるサーマルヘッドの構成と類似している。数マイクロ秒〜数マイクロ秒という短い時間に1000°C近い温度の上昇、下降に曝される点で、サーマルヘッドとは大きく異なる。4等による酸化防止と電気絶縁とを兼ねた層と、その上にTa等の耐キャビテーションエロージョン層とを設ける構造とし、使用環境から熱作用部を保護しているのが一般的である。5等は、必ずしも耐キャビテーションエロージョン性に優れておらず、特公昭59−43315等に記載されているキャビテーションエロージョンに対して強い材料が使用されている。used.【0006】これとは別に、熱作用部では、消費電力を低くし、入力信号に対する応答性を高めるために、発熱抵抗体で発生させる熱をできるだけ効率よく、かつ速やかにインクに作用させることが従来より望まれている。conventional.そのため、保護膜を設けるタイプとは別に、発熱抵抗体が直にインクに接している(以下パッシベーションフリーと略す)形態も、特開昭55−126462に提案されている。この形態は、熱効率の面から保護膜を設ける形態より優れているものの、発熱抵抗体が、キャビテーションエロージョンや温度の上昇または下降に曝されるだけでなく、接するインクの導電性のため、電流がインク中を流れ、その結果生じる電気化学反応にも曝されることになる。compounds,サーメットが知られているが、耐久性、安定性が十分でなく、パッシベーションフリーなインクジェットヘッド用として特開昭59−96971等に記載のあるTa基合金などが提案されている。obtained,保護膜形成時に生ずる欠陥の発生を完全に防止することは非常に困難であり、それが量産的に保留を下げる大きな要因になる。記録の高速化、高密度化が一層求められ、一つのヘッド当たりのノズル数が増加する傾向の中、このことはますます大きな問題となってきている。problem.【0009】また、発熱抵抗体からインクへの熱伝達効率が悪いと、必要となる全体の消費電力が増し、駆動時におけるヘッド全体の温度変化が大きくなる。ヘッドの温度変化は吐出液滴の体積変化につながり、画像での濃度ムラの原因となる。images.【0010】さらに、記録の高速化に対応するため、時間当たりの吐出回数を増やせば、ヘッドでの消費電力が上昇し、温度変化による画像の濃度ムラが一層顕著になってくる。これは、記録画像の高画質化の要求に反するものであり解決すべき問題となってくる。image.【0011】このような問題を解決するため、発熱抵抗体とインクが直に接する、保護膜の欠陥に左右されない熱効率の良いインクジェットヘッドの実用化が望まれてきている。2等の発熱抵抗体では、機械的に破壊されたり、容易に腐食、溶解してしまう等、耐久性に問題を残していた。特公昭59−43315等記載されているキャビテーションエロージョンに対して強い材料も、前述のような保護膜として用いられた場合にその効果を発揮するものであるが、パッシペーションフリーなインクジェットの発熱抵抗体として用いられた場合には、電気化学反応などによって容易に溶解あるいは腐食されてしまい十分な耐久性を得ることはできない。高精細、高画質の記録にとって、吐出の安定性は不可欠であるが、そのためには、発熱抵抗体の抵抗変化が小さいことが必要であり、実用的には5%以下であることが望ましい。resistor,抵抗体が破断しないという点での耐久性において比較的優れている。break.【0013】しかしながら、発泡を繰り返す間の抵抗変化という点においては、例えばTaやTa−Al合金で7〜10%程度というようにいまだ不十分なものであった。(Vop)の僅かな増加で抵抗体の寿命が大きく低下してしまうという問題もあった。耐熱衝撃性の全てを満足するものはなかった。A,l、Ta、およびIrを主要成分とする合金材料がパッシベーションフリータイプのバブルジェット用発熱体として優れたものであることを見いだした。(別途出願済み)これらの合金材料を用いることによって、高い耐久性を持ったパッシベーションフリータイプのインクジェットヘッドを得ることができる。durability.【0017】しかしながら、一方で駆動用ICのコストダウンや、配線での電力ロスの低減などの目的から、発熱体の抵抗を高くしてより高電圧低電流で駆動したいという要求が高まってきており、このような場合には、より高電圧の駆動ということで電気化学的にさらに厳しい条件となり、その条件によっては、上述の合金材料を用いた場合であっても十分な耐久性が得られない場合があることがわかってきた。is.【0018】インクの点からみた場合には、例えば、有機溶剤を主成分とする液媒体中に油溶性染料を溶解させたような、非水系の、導電率の小さなインクを用いることができれば、上記の電気化学反応を低減することができる。優れたものが少ない上に、安全性などの点で水系のインクに劣るという問題がある。is.【0020】そこで、本発明の目的は、低消費電力や高い応答性などのパッシベーションフリータイプのインクジェット方式の長所、あるいは水系インクの長所を生かしながら、比較的高い電圧で駆動した場合にも、安定性が高く、十分な耐久性の得られる記録ヘッドを提供することにある。mol/l以下であることを特徴とする。Cr,Ga,Zr,Nb,Hf,Taのうち少なくとも1つを共に含む合金材料からなるものである。これらの合金材料は、スパッタ法や真空蒸着法など公知の材料を用いて作成できる。method.【0023】これらの合金材料を発熱抵抗体として用いたパッシベーションフリータイプのインクジェットヘッドの例を図1および図2に示す。図1の(a)はヘッドの主要部をオリフィス側から見た正面図、(b)は(a)のX−Y線に沿う切断面部分図である。5,さらに該電気熱変換体の少なくとも電極4および5を覆う電極保護層6を積層し、さらにその上に、少なくとも吐出口8および液路11を設けるため溝付き板7を接合した構成を有する。この例における電気熱変換体は、電極4および5と発熱抵抗体3の、これら電極に挟まれた部分(熱発生部)を有して構成されており、また、インクジェットヘッド用基体は、基板と下部層2とからなる支持体と、該電気熱変換体および保護層6を有して構成されている。インクへ熱を伝える熱作用部9は、前記熱発生部の、保護膜6で覆われていない部分である。下部層2は必要に応じて設けられ、基板1側へ逃げる熱の量を調整し、熱発生部で発生する熱を効率よくインクへ伝える機能を有する。電極4および5は熱発生部から発熱させるために、発熱抵抗体の層3に通電させるための電極であり、この例では電極4が各発熱発生部での共通電極、電極5は各熱発生部に個別に通電するための選択電極でる。電極保護層6は、電極4および5がインクに接して化学的に侵されたり、電極間がインクを通して短絡することを防止するためのものである。電極4および5を設けた段階での平面図を図2の(a)に示す。