カセットのロードおよびアンロード機能を組み込みます。アプリケーション向けに設計されています。タイムの短縮や設置スペースの縮小において業界をリードしています。コスト効率の良いアップグレードを行うことができます。設備の転換が可能になります。非垂直カセットの配置用に設計された回転ヘッドです。水平方向のカセットの移動を可能にし、カセット間の狭いスペースに対応します。アームを装備しています。組み込んだり、アップグレードすることもできます。ウエハー感知および再装着システムによりウエハーの破損を防止。ミニエンバイロメントより良好な環境で実施されます。タイムで業界をリードしています。より、ロット追跡とロット管理を実行できます。