半導体製造/試験装置デバイス温度試験装置プラズマ計測/診断機器サブストレートとイオンの相互作用バルクプラズマパラメータ測定プラズマ電力の測定アイソレータ[alter]2.45GHz帯のアイソレータです。アイソレータは負荷から反射してきたマイクロ波が再びマグネトロン電源に戻らないようにします。Alter社のアイソレータは全て水冷式であり3~10kW迄対応可能なアイソレータを取り揃えています。Launcher内蔵のアイソレータも取り揃えております。・マイクロ波電源システムとしての納入が可能。上記製品群は標準ラインナップです。お客様のご要求が標準製品と合わない場合はカスタムデザインにも対応しておりますので、弊社のRFエンジニアへお気軽にご相談下さい。