半導体製造/試験装置デバイス温度試験装置プラズマ計測/診断機器サブストレートとイオンの相互作用バルクプラズマパラメータ測定プラズマ電力の測定システム高電圧キャパシタ電源[TDKラムダ]標準電源の303シリーズ50kVタイプを1つの筐体に収め、システム全体及び個々の電源出力をマスターコントローラにて制御した高電圧パワーシステムです。1kV~50kVにて最小60kWから1MW以上まで出力可能です。並列に接続できる303シリーズは理論上限界がなく高出力を構築することが出来ます。