BPMの両条件を満たすことになる。/2の各第2高調波をも変換光として出力するものになる。2であって変換効率向上に良好な値に夫々する。1のレーザ光に対して(m)式を適用して周期構造を形成しても良い。その場合も構造例(IV)の場合と同様に変換光が得られる。波長変換媒体として適用することも出来ると考える。その場合は、レーザ活性物質が添加された非線形光学結晶を角度位相整合が得られる角度で切り出すことにより位相整合を得るための構造は構成出来ると考える。LiTaO3基板の+Z面を接地し、−Z面上に収束電子ビームを走査照射すると、結晶裏面に達する層状の反転構造が得られることが開示されている。この文献Vに開示の方法は、レーザ活性物質が添加されたバルクの非線形光学結晶に位相整合の構造を形成する方法として利用出来ると考えられるので、この方法でもバルク状の波長変換素子が実現出来ると考える。of.【0067】以上の説明から、この第一発明の波長変換素子は、1種類の入力光に対して複数の波長変換された光を出力できるものであることが理解出来る。この第一発明の波長変換素子は、図7を用いて説明した装置のNd:YAGロッド47及びKTP結晶49で構成される部分の代替品として使用出来ると考えられる。47,49(図7参照)が必要であったところを1つの部品で構成出来るようになるという効果が得られる。素子はバルク状態の素子による代替ができる。半導体レーザから出力された光の波長を上述の第一発明の波長変換素子を用いて他の波長の光に変換するためには、半導体レーザを位相整合条件を満たす波長で安定に発振させることが必要になる。一般の半導体レーザは注入電流の変動や周囲温度の変動などで発振波長がゆらぐことが多い。laser,入力光の光源である半導体レーザを安定に発振させる工夫が望まれる。この第2実施例はその例である。1の入射光に対するブラッグ条件を満たす構造(ブラッグ反射構造)をさらに具える波長変換素子を開示する。1の光を一部反射するようになる。この反射光はこれを半導体レーザに帰還させることで半導体レーザを安定発振させるための制御光として利用出来る。first実施例において説明した各種周期構造をその周期Λが下記の(n)式をも満たすように形成すれば良い。1に対する実効屈折率である。2としたとき、例えば近似的に下記(o)式によりあたえられる。上述の第2実施例の態様は図1に示した波長変換素子の第1の領域51x及び第2の領域51yで構成される位相整合を得るための周期構造そのものがブラッグ反射構造にもなっている素子である。この第2実施例の波長変換素子の場合は、その入射端面及び出射端面の少なくとも入射端面に低反射膜(ARコーティング)を施すのが良い。波長変換素子から光源である半導体レーザ側にレーザ反射光を出力するためである。surfaces,ARコーティングの程度を調整することでこれは回避出来る。HRコーティングを施すことなく、光導波路53にブラッグ共振器を設けるようにしてもレーザ光を得ることが出来る。4-84291号に詳しい。issue.【0072】この第2実施例の波長変換素子においては、上記(n)式中のpを変えるとブラッグ反射構造での1周期に違いがでる。4の場合とでブラッグ反射構造の1周期がどのように違うかを模式的に示した図である。4の場合のブラッグ反射構造の1周期である。pが大きくなる程ブラッグ反射構造の実質的な周期は長くなる。図2において図1に示した構成成分と同様な構成成分は図1と同様な番号を付して示し、また、その説明を省略する(医科の、各図において同じ。FIG.【0073】また、この第2実施例では別の態様として、位相整合を得るための構造とブラッグ反射構造とを、基板51上に別々に設けた構成としても良い。位相整合を得る為の構造とブラッグ反射構造とを別々に設ける方がそうしない場合に比べ素子の設計自由度を大きくできる。図3は両者を別々に設ける一態様の波長変換素子を概略的に示した斜視図である。具体的には、レーザ活性物質が添加された基板51の一端側に位相整合を得るための構造を具え、他端側にブラッグ反射構造63を具えたものの例である。この場合、基板51の入射端面及び出射端面それぞれには反射防止膜(ARコーテイング)65を設けてある。ARコーティングは少なくとも入射端面側に設ければ良い。図3ではブラッグ反射構造63を基板51の一端に設ける例を示したが、基板51の両端にブラッグ反射構造63をそれぞれ設け、これら反射構造に挟まれる基板部分に位相整合を得るための構造61を設けても良い。する方が変換効率の向上が図れる。次に、図4を参照して第二発明の実施例について説明する。ここで、図4は光源としての半導体レーザ71と第一発明の第2実施例の波長変換素子(ブラッグ反射構造をも作り込んだ素子)73との配置関係を示した斜視図である。半導体レーザ71と第一発明の第2実施例の波長変換素子73とを両者の光軸が一致するように直列に配置してある。半導体レーザ71及び第一発明の第2実施例の波長変換素子73それぞれの少なくとも他方の素子と対向する端面にはARコーティング75を施すのが良い。[0075]【発明の効果】上述した説明から明らかなように、この出願の第一発明によれば、波長変換素子を構成する母材をレーザ活性物質が添加された非線形光学結晶としたため、1種類の入力光のみで入力光とは別の波長のレーザ光が得られ、さらに、これら入力光及びまたはレーザ光の高調波及びまたは混合波が得られる。この波長変換素子は、位相整合を得るための構造を有しているので、入力光及び非線形光学効果で生じた変換光の出力方向をそろえることができる。このため、1種類の入力光を波長が異なる複数の光に変換できかつ入力光及び変換光の出力方向が同じとなる波長変換素子を提供出来る。same.【0076】また、第一発明の波長変換素子であって入射光に対するブラッグ条件を満たす構造をも有する構成においては、半導体レーザの安定発振に利用出来る帰還光を生成出来るので、入力光の波長に対する厳しい条件も実質的に回避することができる。avoided.【0077】また、第二発明によれば、第一発明の波長変換素子及び半導体レーザを用いての波長変換を実用的に実施することができる。DRAWINGS【図1】第一発明の第1及び第2実施例の説明図である。invention.【図2】第一発明の第2実施例の説明図である。invention.【図3】第一発明の第2実施例の他の態様の説明図である。invention.【図4】第二発明の実施例の説明図である。invention.【図5】従来技術の説明図である。art.【図6】従来技術の説明図である。art.【図7】従来技術の説明図である。位相整合を得るための構造を有しかつレーザ活性物質が添加された非線形光学結晶から成ることを特徴とする波長変換素子。2で与えられる位相不整合である。22は前記レーザ光の第2高調波の波数ベクトルである。2で与えられる位相不整合である。3の光の波数ベクトルである。)]で与えられる位相不整合である。