製品群のすべての機能と利点を保有し、要求の厳しいクラスタツールアプリケーションにおいて最高のスループットの提供が可能です。ロボットを活用し、小型コンテインメントのスイング直径内で4枚のウエハーを真空で同時に交換できます。ドライブテクノロジーのメリットを3軸ドライブにも活用しています。アームテクノロジーを採用しています。標準のウエハーカセットへ、安全でクリーンな搬送を可能にします。先進的な真空ウエハー搬送テクノロジーは、半導体ウエハー加工やその他の複雑な製造環境でのツール自動化アプリケーションに最適です。ウエハー搬送向けの多数の設定で使用できる幅広いシステムを提供しています。サイズのウエハーのアプリケーションで優れた真空性能および高いスループットを実現するように最適化されています。高速セットアップ、サイクルタイムの短縮、および既存の工場の機器やプロセスとのシームレスな統合を可能にするために、業界標準に基づく柔軟なモジュールアーキテクチャを備えています。ソーターこのウエハー統合管理システムでは、必要最小限の動作にて複雑な要求を実行することが主要な作業である。ウエハーの搬送をクリーンかつ迅速に実行します。信頼性の向上、最大限の効率性を実現するだけでなく、最小粒子レベルでの業界をリードするクリーン度も実現します。ポートどのようなツールへも簡単に取り付け可能な自動ウエハーハンドリングソリューション。ウエハーに移行しようとしている機器メーカーと半導体メーカーの両方に、さまざまな面で大きなメリットを提供します。最新世代のロードポートモジュールです。オートメーション向けのインテリジェントで柔軟な工場インターフェイスモジュールです。ロードポートモジュールは、最高の相互運用性、シームレスな互換性、および設定の容易さを目指して設計されています。規格に準拠しています。チェンジャは、レチクル/マスクの交換および検査システムです。間におけるレチクル/マスクの転送が可能になります。インデクサレクチルのインベントリ管理の効率性が向上します。微粒子汚染のさまざまな発生源および気中分子状汚染からレチクルを守ると同時に、フォトリソグラフィ装置に標準インターフェイスを提供します。カセットのロードおよびアンロード機能の内臓が可能です。軸機能付きウエハーハンドラー向けに提供出来るよう設計されています。カセットのソリューションも提供します。FOUPクリーナーは、最高のパーティクル洗浄およびAMC洗浄性能を兼ね備え、最高のスループットで湿度制御を提供します。いやすさ、コスト効率を提供します。M600自動ポッドクリーナーM600自動ポッドクリーナーM600全自動中央フォースクリーナーは、RSP150またはRSP200の自動クリーニングに最適なソリューションです。手動モードでは、すべての種類のレチクルまたはウェハキャリアを洗浄できます。M300半自動FOUP/ポッドクリーナーM300半自動FOUP/ポッドクリーナーM300半自動機はあらゆる種類のキャリア(SMIF、オープンカセット、FOUP、FOSB、RSPおよびクラムシェル)のためのユニバーサル遠心力クリーナーです。比類のない洗浄と乾燥を実現します。クリーナーEUVポッドクリーナーM1000全自動EUVポッドクリーナーは、EUVまたはRSP200の各部品の個別洗浄で最大のパフォーマンスを発揮します。枚のレチクルを保管できます。ファイルはデータベースに記録されます。つのバリエーションがあります。レチクル収納レチクル収納SMIFポッド用のRPS-C自動保管管理システムSMIFポッド用のRPS-C自動保管管理システムRPS-Cは、オプションのxCDAまたはN2パージを備えたレチクルSMIFポッド(RSP)用の完全自動化されたスタンドアロンの保管および在庫管理システムです。RSベアレチクルストッカーファミリーRSベアレチクルストッカーファミリーRSファミリーはソーターと最大2900レチクルのストッカー容量を組み合わせた完全自動のレチクル管理システムを提供します。RS-Cレチクル保管・検査システムRS-Cレチクル保管・検査システムRS-Cは、6インチ用の完全に自動化された非常に柔軟なスタンドアロンの保管および検査システムです。RXレチクルストッカーとキャリアバッファーRXレチクルストッカーとキャリアバッファーRXファミリは、工場全体でレチクルを管理するためのレチクルストッカーとキャリアバッファの革新的な組み合わせです。RXiレチクル検査、選別および保管プラットフォームRXiレチクル検査、選別および保管プラットフォームRXiは6インチ用の全自動スタンドアロン検査システムです。チェンジャは、レチクル/マスクの交換および検査システムです。間におけるレチクル/マスクの転送が可能になります。インデクサレクチルのインベントリ管理の効率性が向上します。微粒子汚染のさまざまな発生源および気中分子状汚染からレチクルを守ると同時に、フォトリソグラフィ装置に標準インターフェイスを提供します。パーツの出荷保証ポリシー。ドイツ語、および日本語による購入取引条件。