links当社サイトでは、サービスの利便性向上のためにCookieを使用しております。Cookieの使用に同意いただける場合は引き続き弊社サイトをお使いください。引き続き使用されることにより、Cookieの使用に同意したものとみなされます。詳細については、当社のプライバシーポリシーをご覧ください。9861ブルックスインスツルメントの9861シリーズ高温サーマルマスフローコントローラ/メータは、プリカーサやドーパントの高温供給における厳しい条件に合わせて作られており、あらゆるプロセスガスや気体に対応する清浄度・リークインテグリティの高いメタル流路を備えています。加熱ガスラインやベーキングシステムなど環境温度が上昇する条件にも対応する安定性の高いフローセンサです。優れたドリフト性能により、高温アプリケーションでは起こりがちなゼロ点補正(再調整)や再キャリブレーションの必要性を低下させています。流量測定センサ(特許取得済み)極めて正常性の高い流路アナログコネクタが2本付属。DXFJavaScriptがオフです。オンにしてアクセスして頂くと、フォームが表示されます。最新の製品情報、ニュース、イベントに関する情報を受け取るには、ニュースレター講読にサインアップしてください。