プラグを備える事前圧壊された容量マイクロマシン・トランスデューサセルZusammenfassung:(JA)本発明は、事前圧壊容量マイクロマシン・トランスデューサセル10に関し、このセルは、基板12と、総メンブレン領域Atotalを覆うメンブレン14とを有する。キャビティ20は、上記メンブレン14及び上記基板12の間に形成され、上記メンブレン14は、穴15及び上記穴15を囲むエッジ部分14aを有する。上記メンブレン14のエッジ部分14aは、上記基板12に対して圧壊される。セルは、上記メンブレン14の穴15に配置されるプラグ30を更に有する。上記プラグ30が、上記総メンブレン領域AtotalのサブエリアAsubにおいてのみ配置される。本発明は、斯かる事前圧壊容量マイクロマシン・トランスデューサセル10を製造する方法に更に関する。WO/2013/061204。