上电极(24)接地,周边电极(26)由高频AC电源供电,而下电极(28)由低频AC电源和DC电源供电。(50)和突出挡板(40)。(48)表面的均匀性。通过调节多个电源(30、32)可以选择该范围。reference.反应器20包括由接地上电极24、侧周边电极26和下电极28界定的反应室22。在优选实施例中,侧周边电极26与电源30连接,电源30为侧周边电极26提供频率最好是13.56MHz的电能,电功率最好是1100瓦。2MHz-950MHz。可以按100伏-5000伏之间的电压提供200瓦-3000瓦的该电能。volts.第二电源32与下电极28连接。第二电源32最好工作在450KHz,功率最好是30瓦,电压是200伏。应该知道此电源(最好是在射频范围)可以工作在10KHz-1MHz,功率范围在2瓦-1000瓦,电压范围在5伏-3000伏。下电极28也与DC电源34连接。22,指向半导体晶片48。24和喷嘴36的上方是排气管38,用于从反应室22排出废气物质。应该知道,泵(未示出)固定在排气管38,以便从反应室22抽空气体物质。20外壳44之间的排气通道42。