シリコンセンシングシステムズジャパンPZT成膜・エッチングサービスシリコンセンシングは自社ジャイロCRM/CMS(VSG-5)にて2010年から量産実績のあるPZTの成膜およびエッチングをファンドリにて提供します。パターンニング※比誘電率および圧電特性はPZT厚み3μmで分極後の弊社代表値*圧電膜の性能はウエハ種類、ウエハサイズ、絶縁膜の膜厚などの影響で変化します。■センサ・MEMSデバイス応用事例インクジェットヘッド・MEMSマイクロフォン・マイクロポンプジャイロセンサ・加速度センサ・超音波センサ・RF-MEMS・圧力センサMEMSミラー・オートフォーカス・エネルギーハーベスタ*当サイトでは「ファンドリ」「ファウンドリ」「ファンダリ」「ファウンダリ」等のあいまい表現を避けるため、表記を「ファンドリ」に統一しております。