2本、ウォンドを2個備えたウェハ移載ロボットに関する。1本のアーム部63のみしか有していなかった。[0003]【発明が解決しようとする課題】上述した従来のウェハ移載ロボットは、アーム部が1本しかなかったので、第1ウェハカセットから第2ウェハカセットにウェハを移載する場合には、ウェハ移載ロボットは例えば25スロットのウェハカセットでは25往復ハンドリングする必要があり、ウェハの移載に時間がかかる欠点がある。かみ合う第4歯車と、前記第1歯車に固定され前記第4歯車を駆動する第2モータと、前記第3中空シャフトの下部に固定される第5歯車と、前記第5歯車とかみ合う第6歯車と、前記Z軸可動ベースに固定され前記第6歯車を駆動する第3モータと、前記第4シャフトの下部に固定される第7歯車と、前記第7歯車とかみ合う第8歯車と、前記第5歯車に固定され前記第8歯車を駆動する第4モータと、前記Z軸可動ベースが摺動する固定ベースと、前記固定ベースに固定され前記Z軸可動ベースを駆動するボールねじおよび第5モータとを備えている。[0005]【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明する。invention.【0006】図1は本発明の一実施例の斜視図、図2は本実施例を詳細に示す断面図、図3は本実施例の片方のアーム部を示す平面図、図4は本実施例によってウェハをハンドリングする動作を示す平面図でる。wafer.【0007】本実施例は次のように構成される。direction中空シャフト2には、その中で回転可能な第2中空シャフト3が内蔵される。第2中空シャフト3の中には同じく回転可能な第3中空シャフト4が、また、第3中空シャフト4の中には同じく回転可能な第4シャフト5が内蔵される。第1中空シャフト2には第1プーリ6が固定される。第2中空シャフト3には第1アーム7が固定される。第1アーム7には第5シャフト8が回転保持される。9により第1プーリ6と連結され第1プーリ6の半分の歯数の第2プーリ10が固定される。teethプーリ12が固定される。fifthシャフト8に対し、第1中空シャフト2との軸間距離を等しくして、第6シャフト14が回転保持される。secondタイミングベルト13で連結され第1プーリ6と同歯数の第4プーリ15が固定される。第6シャフト14には第3アーム16が固定され、また、第3アーム16には第1ウォンド17が固定される。fixed.【0008】第3中空シャフト4には第5プーリ21が固定される。第4シャフト5には第4アーム22が固定される。第4アーム22には第7シャフト23が回転保持される。第7シャフト23には同軸で第3タイミングベルト24により第5プーリ21と連結され第5プーリ21の半分の歯数の第6プーリ25が固定される。第7シャフト23には第5アーム26と第6プーリ25と同歯数の第7プーリ27が固定される。第5アーム26内には、第7シャフト23に対し、第3中空シャフト4との軸間距離を等しくして、第8シャフト28が回転保持される。第8シャフト28には同軸で第7プーリ27と第4タイミングベルト29で連結され第5プーリ21と同歯数の第8プーリ30が固定される。28.第8シャフト28には第6アーム31が固定され、また、第6アーム31には第2ウォンド32が固定される。33は、Z軸可動ベース1に固定される第1モータ35に固定される。36が固定され、第3歯車36とかみ合う第4歯車37は第1歯車33に固定される第2モータ38に固定される。33.第3中空シャフト4の下部には第5歯車39が固定され、第5歯車39とかみ合う第6歯車40は、Z軸可動ベース1に固定される第3モータ41に固定される。seventh歯車42とかみ合う第8歯車43は第5歯車39に固定される第4モータ44に固定される。1を駆動するボールねじ46と第5モータ47は固定ベース45に固定される。45.【0010】次に、本実施例の動作を説明する。Z軸可動ベース1は、第5モータ47及びボールねじ46により、上下方向に動作し本実施例のウェハカセット移載ロボット50のZ軸となる。31)を示した図3と本実施例の断面図の図2を用いて説明する。先に、半径(R)方向の動作について説明する。第5プーリ21の中心と第8プーリ30の中心を結んだ直線をLとする。第4モータ44が回転し、第8歯車43及び第7歯車42により、第4アーム22が直線Lよりα度回転したとき、第5プーリ21と第6プーリ25の歯数比は2:1なので第5アーム26は第4アーム22に対し−2α度回転する。31は第7プーリ27と第8プーリ30の歯数比が1:2なのでα度回転する。(R)方向の動作となる。secondモータ38の回転により、半径(R)方向の動作を行なう。movement.【0011】次に、回転(θ)方向の動作について説明する。第1モータ35が回転すると、第1歯車33と第2歯車34により、第1アーム7が回転し、これが、ウェハカセット移載ロボット50の他方のアーム部52の回転(θ)方向の動作となる。第2モータ38は第1歯車33に固定されているので第1モータ35が回転しても、半径(R)方向に他方のアーム部52は動作しない。第3モータ41が回転すると、第5歯車39と第6歯車40により、第4アーム22が回転し、これが、ウェハカセット移載ロボット50の片方のアーム部51の回転(θ)方向の動作となる。work.【0012】以上により、ウェハカセット移載ロボット50の片方のアーム部51と他方のアーム部52は個々に、半径(R)方向と回転(θ)方向に動作可能である。60から第2ウェハカセット61にウェハを移載する場合には、ウェハカセット移載ロボット50は例えば25スロットのウェハカセットでは12.5往復分でハンドリングすることができる。[0013]【発明の効果】以上説明したように本発明は、移載用のアーム部を2本とウォンドを2個設けることにより、ウェハを移載する場合に、ウェハカセットのスロット数の2分の1の往復分でハンドリングすることができ、ウェハの移載が迅速に行える効果がある。DRAWINGS【図1】本発明の一実施例の斜視図である。invention.【図2】本実施例を詳細に示す断面図である。embodiment.【図3】本実施例の片方のアーム部を示す平面図である。embodiment.【図4】本実施例によってウェハをハンドリングする動作を示す平面図である。wafer.【図5】従来のウェハ移載ロボットがウェハをハンドリングする動作を示す平面図である。shaft,前記第7歯車とかみ合う第8歯車と、前記第5歯車に固定され前記第8歯車を駆動する第4モータと、前記Z軸可動ベースが摺動する固定ベースと、前記固定ベースに固定され前記Z軸可動ベースを駆動するボールねじおよび第5モータとを含んだことを特徴とするウェハ移載ロボット。