シリコンセンシングシステムズジャパンSi深掘り加工(DRIE)サービスSi深掘り加工(DRIE)ファンドリサービスなら住友精密グループ会社のシリコンセンシングにお任せください。DRIE装置を開発販売し、日本国内ではSPTブランドでエッチング装置を提供しております。シリコンセンシングは長年の量産経験と100社を超えるSi深掘り加工(DRIE)請負実績からプロセスレシピと生産ノウハウを豊富に保有しています。MEMSアクチュエータを作製する際、懸念となる機械的強度改善に有効な100nm以下の低スキャロップ加工が可能です。シリコン深掘り装置"ASE-Predeus"を導入しました。4~8インチ*当サイトでは「ファンドリ」「ファウンドリ」「ファンダリ」「ファウンダリ」等のあいまい表現を避けるため、表記を「ファンドリ」に統一しております。