前記一対の電極それぞれにおける前記ライン部は、前記アンテナ領域と前記パッド部との間の一又はそれ以上の箇所を折り曲げることにより互いに平行になるよう配置された平行部分を含む光導電アンテナ素子。前記一対の電極のうち一方のライン部における平行部分と、前記一対の電極のうち他方のライン部における平行部分とは、前記アンテナ領域を基準にして互いに逆方向に延在している。前記一対の電極のうち他方のライン部は、前記一対の電極のうち一方に対して反対方向に屈曲されている。前記一対の電極のうち少なくともいずれか一方のライン部は、前記アンテナ部と前記平行部分との間に位置する部分であって、複数の直線要素から構成された引回し部分を含む。前記引回し部分を構成する複数の直線要素は、前記平行部分に対して平行に配置され、両側に直線要素が隣接している直線要素は、一端が隣接する直線要素のうち一方に接続されるとともに、他端が隣接する直線要素のうち他方に接続された形状を有する。前記半導体層は、半絶縁性GaAs基板上に、通常よりも低温でエピタキシャル成長されたGaAs層を含む。��うなものが一般的である。��とを接続するライン部から構成される。��劣化してしまうからである。��小型化が望まれている。��化が妨げられるという課題があった。��とを目的としている。��された一対の電極とを備える。