前記ガスが空気である請求項20記載の方法。Tonaり、前記スーパーヘテロダイン変調位相供給ステップが、前記測定経路におけるステージの運動に実質的に影響されない前記スーパーヘテロダイン変調位相を供給するステップからなる請求項20記載の方法。前記屈折率nにおける前記変動とは無関係に前記測定経路に沿って距離Lを求めるステップをさらに具備してなる請求項20記載の方法。(但し、φ1は移相の大きさ、k1は移相の波数、nは屈折率、ζ1は位相オフット量であり、位相オフセット量が測定経路と無関係な移相φ1に対するすべての寄与を含む)によって前記距離Lを求めるステップをさらに具備してなる請求項24記載の方法。前記光線のそれぞれが直交状態を備え、前記ヘテロダイン移相を供給するステップが、測定経路を通過する通過数に比例し、光学的光線の波長に逆比例し、前記測定経路の物理的長さに比例し、前記測定経路における前記ガスの屈折率に比例する移相の大きさを有する前記のそれぞれの光線の偏光状態の間で移相を生成することによって前記移相光線を光学的に生成するステップからなる請求項20記載の方法。光源波長における変動によって生成された前記スーパーヘテロダイン変調位相における誤差を補正するステップをさらに具備してなる請求項20記載の方法。