過酷な製造装置環境において長期間安定した性能を発揮するよう設計されています。独自のセンサーシールドはプロセス副生成物から真空計を保護します。キャパシタンスダイアフラムゲージは、一般産業の真空圧力計測において、長期間安定した性能を発揮するよう設計されています。セラミックセンサーは、優れたゼロ点安定性と長期安定性を提供します。キャパシタンスダイアフラムゲージは、今までにない超高速応答性能と従来品より一桁低い圧力のフルスケールヘッドをラインナップしています。応答時間<2msとEtherCATインターフェイス高速通信が先端アプリケーションにおける新たなソリューションを提供します。