直線偏光板を用いるのではなく、左・右円偏光板をクロスニコル配置するという工夫を行うことにより、アイソジャイアと呼ばれるゴースト像を消去することに成功し(円偏光クロスニコル像)、残留応力・歪の可視化を達成した。これらの物性が熱膨張率のウェハ内分布に影響を与えることを明らかにした。よって当初目的をほぼ達成したと結論される。今後の展開としては、今回得られた円偏光クロスニコル像が他の物性とどのような相関があるのかを調査するとともに、その結果を踏まえ技術移転を目指した産学共同等の研究開発ステップを目指す。