編集この記事は検証可能な参考文献や出典が全く示されていないか、不十分です。出典を追加して記事の信頼性向上にご協力ください。その目的を踏まえて基本仕様である真空システムを設計しなければならない。真空システムとは以下の構成要素に成り立っている。真空システムとして以上の5つが決まればそれに沿って真空装置を設計する。真空装置は大まかに言うと以下2つの要素を持つ。真空にする空間である。真空装置はこの内部で真空になることによる様々な現象を利用し処理を行う装置である。処理により構成材料や形状、内部の構造などを決めていく。真空容器、ガス放出、真空の質などから適切な真空ポンプを選択する必要がある。真空装置の種類はその目的により多岐にわたるが、基本的に4つの要素により構成される。設計された真空システムにのっとりこれらの要素の構成が決められる。これらの要素は様々な種類があるが、真空システムにより必要に応じて選択される。真空用材料により構成され真空容器に何か作用を導入する場合には真空フィードスルーを使用する。大きさ、排気する気体、真空の質などにより決定される。真空バルブは真空容器に対する外気や異なる圧力空間を隔離するバルブとガスの流量を可変させるコンダクタンスバルブとに大別される。真空計は真空容器の圧力を測定する全圧真空系と真空容器の気体の成分を測定する分圧真空計がある。冶金を真空中で行うことである。真空中で冶金を行うことには以下のメリットがある。純度の向上:真空中で溶解などを行うと金属中のガス成分を外へと排出する脱ガス効果が得られる。)、非金属混入物などが減少するため、結果として金属の純度が向上する。合金における添加元素の精密なコントロール:特殊合金製造工程では、真空中であれば大気成分や他の不純物などがほとんど無いため添加元素を厳密にコントロールできる。鋳肌の向上:真空中で金属を溶解させると脱ガスが効果的に行われるため鋳肌が向上し、品質が向上する。化学反応および前後の操作を真空中で行う装置を示す。真空中での性質や反応を利用した薄膜の形成およびその薄膜の加工を行う装置である。MEMSや太陽電池の形成、FPDの製造など現在最も多く使用される真空装置である。電子やその他の粒子(X線など)を利用した分析装置では大気分子による影響を排除するため真空中で行う物が多い。おこなう装置でも真空中で行うものである。真空にすることで高温での試験や酸化を防ぐことができる。フランジ放出ガスベーキングこの項目は、工学・技術に関連した書きかけの項目です。この項目を加筆・訂正などしてくださる協力者を求めています(Portal:技術と産業)。3.0のもとで利用可能です。プライバシーデスクトップ。