長ウェーハカセット部とメンテナンス部に仕切りを設け、メンテナンス部をクリーンルーム外に設置する事により、高クリーン度の必要な室内スペースを小さくすることができます。重量化対策を考慮し、テープ交換作業は装置背面からできる設計としました。テープテンション自動調整機能付きです。対話方式による簡単操作。FOUPカセット対応(オプション)。AGV・OHT通信機能対応可(オプション)。8・12インチ対応機。適正な取扱いに関する基本方針プライバシーポリシ。