このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。Committeeで技術的に承認されている。Subcommitteeにて発行が承認された。www.semi.orgで入手可能となる。初版は,2010年7月発行。前版は,2012年9月発行。mmウェーハを収納し搬送するために使用するキャリアの基本的な物理的寸法を規定することである。本文書は,キャリア寸法の基準面およびキャリアと相互動作するロードポート形状を定義することを意図している。本文書は,革新的なソリューションに対する制約を設けることなくロードポートとキャリアの相互運用性を確保するための一連の要求を定義することを意図している。mmキャリアの外部形状と寸法を規定する。mmキャリアにウェーハを支持し保持するための内部排他領域を規定する。mmキャリアを支持し配置するキネマティックカプリングピン(KCP)の重要な寸法と位置を規定する。本文書は3つの直交する基準面をキャリア寸法の基準として定義する。