ナノテクノロジーハブ拠点2019/10/24重要!利用時間延長のお知らせ(B09/磁気中性線放電ドライエッチング)現在,磁気中性線放電ドライエッチング装置の利用が大変混雑しており,一部利用者の皆様には,ご迷惑をお掛けしております。暫定措置として,当該装置の時間外の利用で対応しております。詳しくは,『kyodai-hub@saci.kyoto-u.ac.jp』までご相談ください。エッチング内容,装置熟練度,利用状況などによっては,時間外の利用をお断りする場合もあります。