安全性に優れたLED式レーザ光を使用した従来のレーザ式マッピングセンサは、レーザ光がロードポートの内側からFOUPを抜けてオペレータに当たるため危険でした。ウェーハマッピングセンサM-DW1は、LEDを光源に使用することに成功。これによりオペレータの安全性を確保しています。最近急増しているガラスウェーハは反射光量が少なく、これまで端面検出が難しいとされてきました。これに対してウェーハマッピングセンサM-DW1は、反射光の位置で検出するため、反射光量が多い少ないに関わらずガラスウェーハの検出が可能になりました。窒化膜は特定波長の光を吸収する性質があり、吸収される波長は窒化膜の膜厚などによって変化します。そのため単波長のレーザ光を使用したセンサでは、光がすべて吸収されて検出不可能になる場合があります。これに対して、LED光源には光の波長帯に幅があるため、窒化膜ウェーハでも確実に検出できます。0.5msの高速応答0.5msの高速応答を実現。高速応答性と高精度を高次元で両立しています。よる検出では、反射光量やウェーハのエッジ形状により検出に影響が出ます。ウェーハマッピングセンサM-DW1は受光部に2分割受光素子を採用し、反射光量ではなく反射光の位置で検出。このためウェーハの厚みや反射光量の影響を受けにくい設計となっています。センサの設置状況に合わせてフレキシブルに対応できます。奥行き50mm、質量は約75gの小型・軽量タイプ。個人情報のお取り扱いについて。