長12インチ(300mm)径のウェーハに対応した保護テープ剥離装置です。ウェーハカセット部とメンテナンス部に仕切りを設け、メンテナンス部をクリーンルーム外に設置する事により、高クリーン度の必要な室内スペースを小さくすることができます。ウェーハを特殊エレメントにより確実にホールドし、ウェーハにストレスを与えることなく保護テープを剥離します。対話方式による簡単操作。適正な取扱いに関する基本方針プライバシーポリシ。