DMD)を露光パターンジェネレーターとして採用し、フォトマスクの代用としてDMD上に映し出されたパターンデータをフォトレジスト上に縮小投影するデジタル露光装置です。パソコン上で作成した露光データを直接露光することができますので、自在に露光パターンを作成することができます。静止画の投影によるステップ&リピート露光とスクロール動画による高速スキャニング露光を組み合わせたユニークな露光方式によって、平面基板に限らず、複雑な立体構造物への露光も可能です。NanoSystemSolutions.Inc.,。