新デザインに移行します。メニューから切り替えられます。Chineseこのアプリケーションの一部のコンテンツは現在ご利用になれません。この状況が続く場合は、次のお問い合わせ先までご連絡ください。要約:(JA)異なる蒸着材料を共蒸着する蒸着装置であって、蒸着対象物が内設されるチャンバと、蒸着対象物に向けて第1蒸着材料の蒸気を吐出する第1蒸着源と、蒸着対象物に向けて第2蒸着材料の蒸気を吐出する第2蒸着源と、第1蒸着材料を加熱する第1加熱部と、第2蒸着材料を加熱する第2加熱部と、第1加熱部及び第2加熱部を制御する加熱制御部とを備え、加熱制御部は、第2蒸着材料の昇温が、第1蒸着材料の昇温よりも所定時間遅く開始されるように第1及び第2加熱部を制御可能に構成されている。WO/2015/136857。