とって最も重要な要素となるのは、採用される計測技術です。そのため分解能や直線性といった計測技術に関するパラメータは、正確なデータ把握を実現するのに決定的な役割を果たします。マイクロエプシロンは、計測・検査機器に向けた最高精度の測定技術を多数ご提供しています。座標測定機の光学測定プローブ共焦点クロマティックセンサは開口角(開口数)が大きいため、高い分解能と小さい集光点が実現されています。センサを大きな角度で傾斜させることができるため、座標測定機のでジオメトリチェックや粗さ測定にも使用することができます。今日の製造プラントにおいて、その信頼性とスピードを鑑みれば産業ロボットの存在しない製造プラントなど考えられません。ロボット軸にはセットアップ時や、定期的感覚での品質保証の枠内で校正が必要ですが、すでに長い間電動調節プローブが従来の機械的プローブに取って代わっています。ロボット軸に取り付けられた測定プローブが、軸の回転時にプローブチップを介してゼロポイントを捉え、内蔵エレクトロニクスがプローブ信号を評価してスイッチ信号をロボット制御に送ります。社による座標測定装置は、数十年以上前からその最高度の品質と精度、信頼性で知られています。もこの要求を満たしていますが、そこで使用されているマイクロエプシロン製インダクティブ変位センサはその精度に大きく貢献しています。光起電モジュールの生産ではインゴットが薄いウェーハに切断されますが、インゴットの製造時に、モジュール内でのウェーハの配列に影響を及ぼす形状偏差が発生する場合があるため、インゴットに偏差が無いか切断前に検査されます。これにはレーザーラインスキャナが理想的であり、三角測量の原理に基づいて非接触によりマイクロメーターまで正確にコンポーネントの実表面を測定します。