このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。Committeeで技術的に承認されている。Subcommitteeにて発行が承認された。www.semi.orgで入手可能となる。初版は1990年発行。前版は2002年11月発行。20/0.02グレードの窒素およびアルゴンバルク供給ガスの最大許容パーティクル濃度を設定すること(2)その確認のための基準方法を記述することである。本ドキュメントはパイプラインを通して授受される窒素およびアルゴンガスにのみ適用される。シリンダ充填ガスまたは液体状のガスには適用されない。