Committeeで技術的に承認されている。Subcommitteeにて発行が承認された。www.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年に発行,前版は2004年11月に発行された。mmウェーハのアンロードおよびロードのためにウェーハハンドラにウェーハを渡すための装置側の機械的インタフェースを規定する。E15.1に準拠した)ロードポートを有すると共に,空容器あるいは(装置のスループットを上げるための)待ちロット用のストッカーを有することもある。E1.9に準拠した)オープンカセットを扱う。本スタンダードはそれらの種類ならびにキャリア容量(13枚と25枚の)をひとつのインタフェース規格によって規定する。