浮上製品エアベアリングバーフラットパネル用極薄ガラスをはじめとする、壊れやすい板状部材を、浮上させて非接触搬送します。独自の予圧機構で、極薄ガラスもたわみません。チャッキングフラットパネル用極薄ガラスをはじめとする、たわみやすい板状部材を、精密平面に矯正して浮上させ、非接触搬送します。浮上精度は5μmです。大型吸着盤ガラス基板を、多孔質体で全面吸着固定します。ガラス基板に応力を与えず、吸着痕も付きません。静電気対策、ハレーション対策に効果があります。組み合わせによって変化します。チャッキング極薄ウェーハ、薄板ガラス基板を、“低”ストレスで非接触固定。これまでにない、新しい吸着技術です。工程間のワーク移送のための搬送技術は、自動化に不可欠な技術です。精密吸着盤カーボン製だから、高機能。スパークによる破損をなくし、半導体後工程のチップ歩留まり向上に貢献。エアベアリングカーボン製多孔質体(ポーラスカーボン)を使用したエアベアリングです。気体膜力によって負荷を支持するので、非接触で作動します。摩擦摩耗が無く、クリーンです。高速に、精密に案内します。素材販売ポーラスカーボンマテリアル低透過、高透過の2種類のポーラスカーボン素材を提供しています。元材寸法内で、任意の寸法で製作いたします。TOPに戻るメカニカルシールABCシールカーボン製品ポーラスカーボンパッドボディフレーム。