下記機関の供用装置も検索が可能です。・6インチホットチャックにより、室温から300°Cの高温でデバイスの評価が可能。・粗動+XYZθ高精度精密ステージによりスムーズで正確なデバイスの位置合わせが可能。mm・シールドボックスに格納し、遮光した状態での評価が可能。・タングステン針、RFプローブ(C27)を用意。・RFプローブはカスケード社、ズース社、GGB社の全てに対応。システム4200-SCSを使用。こちらをご覧ください。