ショックアブソーバーの採用で常にソフトなコンタクトを実現しています。大型のプラテンを採用し、余裕のマニピュレーターの搭載を実現しています。プラテンが上下することで、一括で針のZ調整ができます。操作性を考慮した前明きの形です。ウエハーのロード/アンロードが容易にできます。Zは3段階切り替えレバーの操作により、3段アクションのZドライブが可能です。アライン(位置合わせ)はウエハーから約300μm針を離して行うので、顕微鏡の焦点からはずれないでステージが移動でき、かつローディング/アンローディングのときは、5.0mm離れますので安全に操作できます。ステージ移動が簡単で正確ですステージ移動ノブについている移動用スイッチにより、自在にステージをXYに移動させることができます。範囲はXY共に各チャックサイズと同等を実現しています。確実なアライメントマイクロメーター付の高精度精密ステージをXYZθに採用しています。