技術シェアTweet今回は私が所属している第5技術グループで開発しているものの説明を、少ししたいと思います。私たちのグループは通称HCTと呼ばれ、ハイブリット・セラミック・テクノロジーという技術を開発・製造しています。今回はその、技術のラインアンドスペースについて!会社に入る前まで、私の中の長さの最小単位はmmでした。1mm以下は誤差のようなもの。この会社には入ってからというもの、1mm以下の単位が普通に会話に出てくるようになりました。1μm=0.001mmで、1nm=0.001μm入社当初はなかなか単位になれず、困ったものです。「あ、いや、間違えました!えーと、0.025......、いや25みくろんです!!25みくろん!」もう、何がいいたのかわからなくなりますね...そして、HCTで作製可能なパターンの最小ラインアンドスペースは5μm/5μmです。(Auめっきを行う場合は、めっき膜厚3μm以下の場合。3μm以上めっき行う場合のラインアンドスペース=10μm/10μmです!)実際5μm/5μmで作製して欲しい、という会社は残念ながらまだないのですが笑この写真は最近作成した最小パターン幅です。ラインアンドスペース=25μm/25μm目視だと、線と線が離れているようには見えないのですが、ちゃんと線になっています。デジタル顕微鏡100倍デジタル顕微鏡1000倍パターンの細さ以外にも、Tan抵抗やスルーホール、Au/Snメタライズなんかもできます。#5μm#HCT#ラインアンドスペースガイカンミルルン第5技術Gr所属のガイカンミルルンです。date*日本語が含まれない投稿は無視されますのでご注意ください。