Committeeで技術的に承認されている。Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1992年発行、前版は、2004年7月発行。2010年,投票により本文書の撤回が承認された。本スタンダードの目的は,材料もしくは装置に,危険な状態もしくは損傷の可能性をもたらすような隔離バルブの開閉を,防止することにある。本スタンダードは,クラスタツールモジュールサプライヤに,インタロックを備えること,およびインタロックがトリップする状態を定義することを求めている。