Microsystems)」は、MEMS(微小電子機械システム)に関する世界最大の隔年開催の国際会議だ。2019」がドイツ・ベルリンで開催された。約650件の論文から、東北大学教授の田中秀治氏が最新のトレンドを解説する。同氏は、「車載センサー・IoTデバイスに革新をもたらすMEMS技術」の講師を務めるなど、この分野の第一人者である。圧電材料のPZTを使ったMEMSに変化が見られ、応用範囲は広がりつつあり、既存デバイスを置き換える可能性がある。MEMSの技術力を着実に蓄え始めた。xTECH)圧電材料のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)薄膜を使ったMEMSは日本のお家芸である。MEMSは、インクジェットプリンターヘッドとジャイロスコープだ(図1)。言って、これらが実用化してから10~15年がたっている。MEMSに関する研究が進んだものの、新しい応用の実用化という意味では長いトンネルが続いていた。MEMSの例ここで挙げた6例のうち5つは日本製である。(写真と図:各社のデータ)[画像のクリックで拡大表示]MEMSは、一般にセンサーとして小型化の利点を発揮できる一方、アクチュエーターとしては発生力または変位が不足する。その中にあって、PZT薄膜アクチュエーターは、静電方式または電磁方式と比べてパワー密度において有利である。それでも期待されてきたほとんどの応用で、発生力または変位がそもそも不足するか、無理して動かそうとすると信頼性に問題が生じるかしていた。MEMSは、長らくインクジェットプリンターヘッドしかなかった。この先は有料会員の登録が必要です。xTECHには有料記事(有料会員向けまたは定期購読者向け)、無料記事(登録会員向け)、フリー記事(誰でも閲覧可能)があります。有料記事でも、登録会員向け配信期間は登録会員への登録が必要な場合があります。世界最大のファウンドリーが日本で求人エレキ世界最大のファウンドリーが日本で求人あらゆるプロセスで顧客ニーズに対応セキュリティも万全な新IoT向けマイコン毎月更新。「世界No.1製品」を生み出し、生産するための開発設計プロジェクトの実践方法を学びます。LED」と「量子ドット(QD)」に関する最新動向を解説します。その先に求められる成熟のため...テスラ「モデル3/モデルS」徹底分解【ECU編】50個以上におよぶECUを分解写真付きで解説。顧客に響くシステム提案メソッド顧客が目指すビジョンや課題を理解し、顧客自身も気づいていないニーズを見つけ出して解決策を提案するための方法を解説します。Reserved.このページに掲載されている記事・写真・図表などの無断転載を禁じます。掲載している情報は、記事執筆時点のものです。