このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。Committeeで技術的に承認されている。Subcommitteeにて発行が承認された。www.semi.orgで入手可能となる。初版は2011年11月発行。前版は2012年8月発行。FOSB)を規定する。本スタンダードが意図しているのは,すべてのメカニカルインタフェースにおいて,相互運用性を確保しながら,技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。他のキャリアに詰めかえる工程に使われることであり,IC製造プロセス工程で使うことは想定していない。FOUPに詰め替えられることが望ましい。