SEMINARSJavaScriptの設定が無効になっています。当ページをご利用される場合にはブラウザのJavaScriptの設定を有効にしてください。JavaScriptの設定が無効になっています。当ページをご利用される場合にはブラウザのJavaScriptの設定を有効にしてください。by概要レジスト及びプロセス評価の重要指標であるLER/LWRの標準的な計測手順(SEMIP47)が2007年に承認された。その後LER/LWRの値自体が低減され、相対的に画像ノイズの影響が大きくなっている。新評価指標も提案されている。これらの問題に取り組むP47改訂タスクフォースの活動をご紹介する。プログラムアジェンダ(株)日立ハイテクノロジーズ申込はこちら。