SEMINARSJavaScriptの設定が無効になっています。当ページをご利用される場合にはブラウザのJavaScriptの設定を有効にしてください。JavaScriptの設定が無効になっています。当ページをご利用される場合にはブラウザのJavaScriptの設定を有効にしてください。半導体向けにガス・薬液供給システムを提供する世界最大手のIchor社が、ガス集積供給システムで実績のあるK1Sの利点をそのままに、WETプロセス向けIMS(集積液体供給システム)を新開発。フットプリントを大幅に削減可能な画期的なシステムです。Ichor社よりIMSの製品概要をご説明いたします。