2018の口述講演には、下記の皆様がご登壇されます。機器展示コーナーにもお立ち寄りください。部屋中央の飲料はセルフサービスにてお召し上がりください。2018の口述講演のタイトルとアブストラクトです。Compiler.概要:COMSOLの技術情報を解説します。Information.概要:COMSOLの技術情報を解説します。Multiphysics概要:ECRを用いたプラズマエッチング装置はULSI製造に永年にわたり用いられてきた。プラズマ制御性の改善を目的にECRプラズマエッチング装置で均一性の良いプラズマが生成される機構を検討した。最初にECRプラズマエッチング装置のマイクロ波解析において、非常に複雑な電磁界パターンが得られ、検討の結果、その現れる条件や分散関係から、TG波によるものと判明した。次にマイクロ波解析と電子温度、およびプラズマ拡散解析を組合わせたプラズマシミュレーションを行い、実際的な計算時間で各解析を満足する解を得た。シミュレーション結果とプラズマ分布の測定結果を比較し、両者が定性的に一致することを確認した。ECRプラズマエッチング装置で均一なプラズマが生成できる機構をマイクロ波電磁界のシミュレーション結果を用いて検討した。磁化プラズマ中のマイクロ波伝播から、マイクロ波の電力吸収分布に従い一定密度のプラズマが拡大することで均一なプラズマが得られることが分かった。nm以下の紫外光(真空紫外光)を空気に照射すると、原理的にはNOxを含まないピュアなオゾンが得られる。nmのXe2*エキシマランプを用いると、数vol%の濃いオゾンを得ることができる。Multiphysicsの化学反応工学モジュールを用いて、VUVにより得られるオゾン濃度を計算した結果を紹介する。関する工学教育に着手した。Multiphysicsを用いて開発する。できる環境を整備する。COMSOLカンファレンス東京2018では,このプロジェクトの進捗状況や実施結果を報告する。Problems概要:近年、設計開発においてトポロジー最適化を利用することに注目が集まっている。実際、自動車や航空機の構造設計への利用など、様々な事例が報告されており、トポロジー最適化は次世代の設計支援ツールとしての呼び声も高い。本講演では、近年盛んに研究が進められている流体問題を対象としたトポロジー最適化の基礎的な方法論を概説する。その上で、流体・熱を扱った熱交換器設計、および流体・電気化学を扱ったフロー電池設計といった、マルチフィジックストポロジー最適化問題へ展開した最新の事例を紹介する。AC/DCモジュールで解析している。通信線に関しては、通信線と大地の間で構成されるループ状の縦回線をターン数が1回のコイルとしてモデル化し、そのコイルを鎖交する磁束を計算した。このようにして求めた計算値を、時変のインダクタンス行列による集中定数回路でモデル化した計算値と比較した結果、ほぼ同等の値になることを確認した。Multiphysics概要:AlGaN/GaNヘテロ接合に形成される二次元電子ガスは、電子密度が高くかつ移動度が高いという特徴があり、この二次元電子ガスを用いた、抵抗が低く、高速動作が可能で、耐圧の高いトランジスタやダイオードなどのパワーデバイスへの応用が期待されている。Multiphysicsを用いて行った解析結果を報告する。なされたが、これらの要因を総合的に検討する研究は少ない。本研究は、生体の電気特性を有するシミュレーションモデルをベースに、効率的な生体深部刺激を実現するためのシステム構築を目指す。Multiphysics概要:機械学習を用いたリチウムイオン電池の電極の微細構造の最適化解析を紹介する。具体的には、人工的に生成した多数の電極微細構造データについて充放電特性をCOMSOLで評価し、機械学習と組みあわせる事で、多変量の設計条件の中での特徴量の抽出と最適解の導出の事例を紹介する。Model-概要:COMSOLを用いて電磁界シミュレーションの基礎について説明します。シミュレーションの前に、正しく理解しておく必要がある問題の分類について説明します。シミュレーションにおいてモデル化は正確な解を得るために重要ですが、特に自由度があって難しい境界条件と励振モデルについて詳しく説明します。actuator概要:pnダイオードで励振するアクチュエータは、静電駆動型MEMSで必須とされていた狭い空間ギャップを必要としない利点がある。その動作を解析し、COMSOL解析結果および実測結果と比較・検討する。ドットを用いた光素子として発光ダイオードやレーザ等に応用展開されている。InGaN材料のドライエッチングによるナノ構造の実現およびその光学特性について報告する。講義「マイクロ知能機械」において、MEMSデバイスを理解してもらうために学生に櫛歯型の静電アクチュエータの設計を課題として課している。Multiphysicsのアプリケーションを導入することで、学生がアクチュエータの変形や共振周波数及び変形を簡単に_シミュレーションできるようにした。提出された設計に基づいて製作された静電アクチュエータがシミュレーション通りに駆動することを体感してもらっている。以下SSPD)の開発が精力的に進められている。SSPDの性能改善にはその光学設計が重要な役割を果たすが、本発表ではCOMSOLを用いたSSPDのデバイス設計とそれによる高性能化の実証について報告する。変更となる場合があります。※敬称に先生と記載の皆様は、教育機関の教員および医療機関の医師の方です。