在位置B和C之间水平移动。53的位置时,挡板可移动部分56的周边环部分59的远端边缘(突起)插入固定部分53的槽55(凹部)。(在图4A中由abcdefghij指示的空间)在挡板可移动部分56的周边环部分59和固定部分53的槽55之间形成。(位置A)中时,挡板可移动部分56覆盖靶23以充分地屏蔽该靶23。23侧,由此防止靶23被污染。挡板可移动部分56通过臂62的操作从位置A向下移动至位置B。挡板可移动部分56的周边环部分59和固定部分53具有预定长度。