由此,制造清洗用液体IX。IX.并且,在本实施方式中,清洗用液体LC含有碱。(氮)进而添加碱(氨)后的液体,作为清洗用液体LC。LC.曝光装置EX具有连接机构EC。8等供给曝光用液体LQ和清洗用液体LC中的至少一方。连接,另一端与第2阀机构35连接;以及第5流路39,其一端与第2阀机构35连接,另一端与连接机构EC连接。path流路进行切换。20的第1连接部37。20的第2连接部38。到达曝光装置EX的连接机构EC。20送出的清洗用液体LC能够经由第3流路33、第2阀机构35、以及第5流路39,到达曝光装置EX的连接机构EC。LS向曝光装置EX供给曝光用液体LQ的状态的示意图。10的曝光用液体LQ到达曝光装置EX的连接机构EC。10送出的曝光用液体LQ经由第1流路31和第4流路36,流入第5流路39。LS向曝光装置EX供给清洗用液体LC的状态的图。