LQ.并且,在本实施方式中,曝光装置EX具有检测装置80,该检测装置80检测经由回收口82回收的曝光用液体LQ的品质(水质)。exposed.图6是示出检测装置80的一例的示意图。能够检测由回收口82回收的曝光用液体LQ的污染状态。EX对基板P进行曝光的方法。(曝光顺序)的情况下,第1阀机构34和第2阀机构35设定为第1模式。开始基板P的曝光动作。2的上表面2F和计测工作台3的上表面3F之间移动。(即终端光学元件FL与曝光用液体LQ接触的状态),同时使喷嘴部件8和基板工作台2对置。113号)等中进行了公开。照射曝光光EL,对基板P进行曝光。FL和喷嘴部件8在XY方向上一起移动,使计测工作台3与喷嘴部件8对置。8和计测工作台3之间。P搬入(载入)基板工作台2。对置,开始下一个基板P的曝光。exposure.然后,控制装置7反复进行上述动作,依次对多个基板P进行曝光。并且,曝光用液体LQ分别与基板工作台2和计测工作台3接触。