ゾル-ゲル成膜法を用いることにより、有機成分(有機分子や有機ポリマーなど)と酸化物(シリカ、チタニアなど)からなる有機-無機ハイブリッド薄膜を作製することが可能である。このようにして作製したハイブリッド薄膜に光波入射やオゾン処理などの種々の外部刺激を与えることにより、刺激による活性化過程を活用した非平衡状態を生成することができる。重合性有機モノマーと酸化物前駆体からなるハイブリッド薄膜に、光重合を誘起するとモノマー重合にともなく非平衡状態を生成できる。ついて、最近の我々の成果を紹介したい。光照射により空間選択的かつ自己組織的に微細構造を形成できることから、半導体プロセスで確立している光リソグラフィー技術との融合も可能であり、ユニークな表面構造形成による新たな応用展開が期待される。構造形成後に外部摂動により制御できれば、外部場によるダイナミックな構造制御やミクロ空間における形状記憶微細構造が実現できる。外場応答を示すスマート微細構造の形成や応用についても紹介する。