XRDによって解明している。アモルファス構造からホモロガスIGZO構造になるには、カチオン元素とアニオン元素の拡散が必要である。In2O3薄膜の結晶化過程を調べ、不純物の添加によって結晶化の活性化エネルギー変化を定量的に解析した。この結晶化過程に関して得られた系統的な知見は、アモルファスIGZO薄膜の結晶化において不可欠な基礎知識になる。これらの研究成果は国際学会(IUMRS-ICAM2017、京都大学)で2017年8月29日に発表した。アモルファスIGZO薄膜やドープしたIn2O3系透明導電膜が結晶化する際の構造の変化を、放射光を利用したXAFSにより解析するためにサンプルの高温加熱セルを設計して製作した。アモルファスIGZO薄膜、ドープしたIn2O3薄膜の結晶化過程における局所構造の変化に関する実験を行い、結晶化機構を解析する。In2O3薄膜の結晶化過程を解析した。XRDを用いて調べた。得られたデータを基づいて、結晶化するための活性化エネルギーをさらに精度を上げて解析した。XAFS測定による動径分布関数の解析も行った。X線回析のみならずXAFSによる動径分布関数の解析データも含めて、結晶化が開始する初期成長過程まで含めた統合的な結晶化過程の解析を行う。求められた活性化エネルギーに関して、種々の理論的な解析も行う。