出願した特許の牽制数、引用された数などを知る事ができます。気になる技術や特許をブックマークしておけば、いつでも後から読むことができます。後で印刷するために、公報をPDFでダウンロードできます。会員登録してastamuseを使えば、もっと簡単に便利にお使いいただけます。会員登録(無料)「astamuse」は世界中の挑戦したい社会課題に挑戦し、未来を創る人のプラットフォームです。関連する技術を394,943件開発しています。含む技術文献に基づき、その意味・用法のみならず、活用される分野や市場、法人・人物などを網羅的に把握することができます。マスクパターンに応じた溝又は孔(以下、溝孔という)が形成される。33は、ウェハ31の主面を露出させる複数の開口37によって区切られることにより、ウェハ31のうち複数の水晶片15となる部分に重なる複数の個片領域39と、複数の個片領域39から延び出て複数の個片領域39同士を連結する複数の連結領域41とを有している。ノズル列用の開口と共にモニタリング用の開口をその近傍に配設し、ノズル112の加工と同時にモニタリングマーク111も加工する。推定値とするパラメータ推定部12、及び、観測ベクトル、マスク、基底ベクトル、アクティベーション及び空間相関行列を用いて分離音を計算する音源分離部13を有する。内のギャップを貫通してエッチングされ、これによって個片化された集積回路を形成する。基づいて判別し、ROI係数と、非ROI係数に対応する第2ウエーブレット係数データ中のウエーブレット係数と、を合成する。ミラー曲げ機構付き反射鏡を提供する。ハーフトーン型位相シフトマスク、クロムレス型位相シフトマスクやレベンソン型位相シフトマスク等がある。位相シフトマスクのうち、ハーフトーン型位相シフトマスクについては、製造が比較的容易なため、既に実用化されている。マスク位置調整方法を提供する。試料に偏光作用性がないものとして、したがって結像の偏光は照明の偏光に一致し、画像全体に亘り一定しているという仮定のもとで偏光測定をすることができる。伴う例を特定して扱うことがある。かかる例で論じる一般的な原理は、上述のパターニング手段の更に広い文脈で理解するものとする。製造、マスクの再生およびそのマスクを用いた製品の製造間の連携を効率的に行うことができる。資源の有効活用が可能となる。これらにより、経済および産業の向上を促進させることが可能となる。除去しないと次のプロセスは出来ない。このため、選択成長層の埋込成長、または選択成長後の連続ヘテロ成長のような同一成長プロセスでの連続成長は不可能であった。製造方法に適用することができる。上記フォトマスクの製造方法は、上記実施形態のいずれかの工程の管理方法により、フォトマスクの製造工程を管理し、この管理した製造工程を行うというものである。上記フォトマスクの製造工程は、パターン描画工程、レジストの現像工程および加工工程の少なくとも一つである。株式会社東芝このため、研磨剤を流動させて被研磨部材を研磨する際、被研磨部材が研磨槽内で勝手に移動して互いにぶつかり合うことがなく、被研磨部材の表面が互いに傷付くことがない。用いずに、研磨を必要としない部分つまり被研磨部材の空間部の内面を研磨することがなく、研磨を必要とする部分つまり被研磨部材の表面のみを良好に研磨することができる。下に侵入し易く、このため、他の色のペイントが溝の中に混入すると言う問題もあった。その後のすべての層とを通して、シリコンに切られるので、シリコンの溝の深さを知ることは、すべての中間層の全体の溝深さと厚さとの両方に関する認識を必要としている。被露光物に帯電する静電気を除去し、アライメント精度を向上させることが可能となる近接場露光装置および近接場露光方法を提供する。回転することにより、他の方向のダイのすべてについて一度にひとつのダイを処理することも可能である。フォトマスク、およびこの露光装置評価用フォトマスクを用いた収差評価方法を提供する。近接場露光方法による素子の製造方法を提供する。近接場露光方法を提供する。近接場露光マスクを提供する。データ等)を元に構成されています。出典元のデータには一部間違いやノイズがあり、情報の正確さについては保証致しかねます。一時的に、各データの収録範囲や更新周期によって、一部の情報が正しく表示されないことがございます。当サイトの情報を元にした諸問題、不利益等について当方は何ら責任を負いかねることを予めご承知おきのほど宜しくお願い申し上げます。”未来を創るためのプラットフォーム”astamuseは、世界中で未来を創るための「仕組み」を提供するため日々改善を進めています。専門用語を解析し、意味や用法を知ることが出来るキーワード情報そしてこれらの情報を最大限活用することで、挑戦したい社会課題を独自の切り口で編集。社会に大きな変化を起こし、未来を創るために活動し続けるのは容易なことではありません。行う為に必要なサービスの提供を行っていきます。それが私たちの考える“未来を創ること”です。