微弱で微小な低コントラストの欠陥を、マルチスペクトル画像を用いて検出する技術を開発する。微弱な欠陥には高感度の、微小な欠陥には高解像度の撮像系が必要であるが、現存するマルチスペクトルカメラでは不十分である。そこで、高性能ラインセンサカメラを用いて、1スキャンで4バンド狭帯域スペクトル画像が得られるマルチスペクトルラインセンサカメラを製作する。これを用いたマルチスペクトル欠陥検出アルゴリズムを開発し、実部品の低コントラスト欠陥検出への適用も検討する。