同一テーブル(オシレーションテーブル)上にワークとパターンをある一定の間隔でセットする。ワークとパターンの上にはそれぞれ加工ヘッドとセンサーが共に表面に焦点を結ぶように調整される。センサーはパターンの白黒で反射光の有無によるON/OFFの信号をレーザー電源のパルスユニットに送り、レーザー発振器からレーザー出力のON/OFFとして、ワークに照射し、彫刻加工する。パターンからの反射光をセンサーがキャッチしてから、レーザービームが発生するまでの応答遅れがあるため、この応答遅れ時間にテーブルが移動する距離だけセンサーを先読みさせる。よって、テーブルの速度に比例して先読み量も調整する必要がある。パターンの濃淡に応じてセンサーの感度を調整することにより、白黒のパターンであれば、ほとんど使用できるし、パターンの白黒を反転させ、パターンをネガとして使うことも可能である。工業用として広範囲に使用されている炭酸ガスCO2レーザーで彫刻・切断・切り抜き・穴あけなどの超精密加工が出来る機械を指す。この光を小さな領域に集中させると、非常に高いエネルギー密度が得られる。集光レンズの使用により、レーザービームをφ0.1~0.2mmに絞るため、繊細な加工が行なえる。セラミック、ガラスなど多種類にわたり、非接触加工のため材料固定が容易で騒音や塵埃がない。刃物が不要のため、刃物交換や研磨による補正などの煩わしい作業が要らない。レーザー彫刻には、被加工物の表面にエッチング等で開口部を設けた金属で覆って全面に照射し彫刻する「マスク方式」と、パターンセンサーで読み取って検出して彫刻する「ドット方式」の2通りの方法がある。