太陽電池への関心は急速な高まりを見せ、また生産量や産業規模も大きく膨らんできている。導入ポテンシャルを考えるとまだ現状は序の口であり、更なる普及拡大が期待できる。現状と将来について概観を述べる。(NEDO技術開発機構)では新エネルギーの普及に密接に関係する系統連係技術の実証研究を行っている。それぞれの新しい対策技術の開発状況について述べる。多結晶シリコン太陽電池は、量産レベルで15%以上の変換効率が容易に得られるようになっている。更なる低コスト化の実現には、変換効率の改善と基板薄肉化が最重要課題である。本稿では、多結晶シリコン太陽電池の現状と今後の高性能化に向けた技術を紹介する。伸びは目覚ましく、今後も更なる拡大が期待されている。使用原料の少ない薄膜型が市場における存在感を増している。本稿では、これらの太陽電池に用いられるガラス基板、特に薄膜太陽電池に用いられる透明導電膜付きガラス基板について述べる。地球環境に優しいエネルギー源として、太陽電池の需要は世界的に増大している。Si系太陽電池は、現在の市場で圧倒的なシェアを占めている。本稿では、結晶Si系太陽電池の現状ならびに、三洋電機が開発したHIT太陽電池の特長および今後の低コスト化に向けたアプローチについて紹介する。目下45nmHik導入が進行しており、デバイス性能(処理能力/消費電力)が大きく改善している。FLASHの1年前倒しで、微細化技術が一段と進歩している。他方、従来技術の改良により、半導体の利用範囲が広がり、新しい素子の開発も促進され、多様な可能性を示している。Reduction)章と呼ばれており、SEMATECH会員会社がデータを公開/共有した欠陥低減プロジェクトの資産を引き継いだものだが、微細化/水平分業の進展等により、内容の見直しが求められている。賢ITRSにおける歩留まり改善の章は、歩留まりモデルと装置許容欠陥数(YMDB)、欠陥検出と特徴付け(DDC)、そしてウエーハ環境汚染制御(WECC)の3つに分けられている。本稿ではWECCの要求項目内容と改訂のポイントについて解説する。眞450mm、NGFが議論されているが、半導体工場内キャリア搬送の将来に大きな指針を与えるものの一つにITRSロードマップがある。主要な指標を2007年度版と2005年度版とを比較することにより、その変更のポイントを明確にする。近年、光触媒を利用した空気浄化装置が普及してきたが、酸化能力が不十分な場合は、有害な中間生成物の発生を伴うことがある。