日本1936年創立の東洋熱工業社は空調設備を専門とし、その卓越した気流制御の技術で日本発のクリーンルームを手がけました。特殊ガスや有機溶剤除去回収などの大型設備を手がける一方、サーマルチャンバーや基板加熱処理装置などの気流と熱を扱う装置も展開、累計3000台の出荷実績を誇るドライクリーナーは700mm/秒という乾式洗浄装置の中では群を抜いた高速処理が可能です。ミクロンレベルのゴミの管理に、東熱の技術は生かされております。