元のモニター、ダミーウェーハレベルに再生し、ご提供するサービスです。再生処理工程はお客様のご要求仕様に応じて適切な処理方法(レシピ)を選択しています。ケミカル再生が有効です。研磨再生と比べてパーティクルレベルは劣りますが、材厚や平坦度を損なわない再生処理としてご好評をいただいています。再生処理費用は良品の仕上がり数量でご清算させていただきます。再生する事ができなかったウェーハはお客様へご返却するか、またはリサイクル原料として使用できるものは当社にて環境に優しい材料に再利用させていただきます。