圧力センサの分類|圧力センサ|浜松光電株式会社センサ開発から高機能ユニット化まで、ソリューションをご提供いたします。圧力センサとしては多くの種類がありますが、材料を基準とした場合、右表のように分類されます。Cu合金を用いた抵抗線式に比べ約1桁高感度であり、中でもマイクロマシーニング技術を応用して作られる拡散式のものは量産性が高く、相対圧(=ゲージ圧)タイプは約2kPa〜20MPaくらいまで幅広くカバー出来るとともに、絶対圧タイプも作製可能などの特長を備えており、最も多く生産されています。他方、SUSダイヤフラムを用いた成膜式のものは高圧用途に、平行平板を用いた静電容量式のものは微圧用途に適しています。拡散式と静電容量式には集積化センサも作られています。パッケージとして、車載用にはCAN、民生用にはプラスチック、高圧・食品用にはSUSのケースが主に使用されています。用途は、下表のように多岐にわたります。図1の平面図のように、圧力センサチップは、不純物拡散により、4ヶ所かつ同一方向に短冊状のゲージが形成され、断面図のようにダイヤフラム加工されたSiがガラス台座に接合された後、チップ化されています。このセンサチップを各種ケースに組み込み、ガラス台座側から加圧した場合、AとCのゲージは模式図のイのように変形して抵抗値が増加し、又、BとDのゲージはロのように変形して抵抗値が減少します。実用的には、結線図のようにホイートストン・ブリッジに結線され、+と−端子の電位差が出力として用いられます。先程とは逆にSi側から加圧した場合は、ゲージ抵抗の増減も逆になり、それに伴って出力の+−も反転します。チップにはSi面上でフルブリッジに配線されたものと、この図のように1番、6番端子を開放し、外部でオフセット電圧を調整し易くしたものがあります。図2に、ケースタイプのゲージ圧用半導体圧力センサの断面構造を示します。圧力センサには、以下のように実に多くの特性が要求されます。Reserved.|個人情報の取扱いについて|サイトポリシ。