スピーディーにかつ正確に行うことが求められています。検査システムを開発しました。mmの広い視野を一度に観察できます。インチのウェハを容易に隅々まで観察し、迅速に欠陥箇所を検出できます。ウェハの周縁部または中心部の加工不良や膜厚の均一性などを視覚化できます。システムは各種試料サイズ向けに、金属製インサート、ウェハホルダーやマスクホルダーなど、様々なステージインサートをラインナップしています。ステージの粗動または微動調整を用いて、試料および観察領域を簡単、すばやく位置決めすることができます。マイクロシステムズは使い勝手に優れた操作コンセプトを追及しました。顕微鏡操作部にアプローチしやすいデザインで、オペレーターは試料に視線を置いたまま、観察法や照明を切り替えることができ、観察に集中できます。照明にはLEDを採用、内蔵し一定の色温度を提供、光量を変えても色味が変わらず、再現性の高いカラーイメージングを実現します。顕微鏡カメラや画像解析用ソフトウェアを選択して、簡単にイメージングシステムにもアップグレードでき、高品質の解析と記録を行えます。検査システムの製品ページをご覧ください。データのプライバシーLanguage:日本語DeutschEnglishEspañolFrançaisItalianoPortuguês。