Port)対応とFOSB対応の2種類をラインアップに持つ300mmウェハローダです。ウェハ条件(薄ウェハ、反ウェハ)に影響されない搬送を実現し、後工程の本質を追及した高い信頼性と安全性を提供します。イージーオペレーション自由に設定できる検査モード、後工程向け専用に操作性を考慮した装置デザインなど、使い勝手を重視しました。Port)対応とFOSB仕様の2機種をラインアップしています。半導体顕微鏡MX61Lと組み合わせで高分解能、高品質の観察を実現します。検査装置中心に配置した操作ユニがエルゴノミーで快適な操作が可能です。前機種で得た信頼性と安全性を継承し、安全に300mmウエハの自動検査が可能です。ウエハ条件(薄ウエハ・反ウエハ)に影響されない搬送系を実現しました。カタログこのページはお住まいの地域ではご覧いただくことはできません。*お問い合わせ詳細はい、製品に関する更新や情報を受け取ります。divisionダイレクトメール・メールマガジンによる情報の配信を希望する。工業用内視鏡(ファイバースコープ)X線分析装置メールマガジン個人情報保護方針を確認し利用規約に同意します。Policy.OKCancel。